[實用新型]太陽能電池沉積用放電電極板陣列有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201020223571.9 | 申請日： | 2010-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN201994322U | 公開（公告）日： | 2011-09-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 何祝兵;李毅;胡盛明;李志堅;王春柱;周建華 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市創(chuàng)益科技發(fā)展有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;C23C16/505;H01J37/04;H05H1/46 |
| 代理公司： | 深圳市毅穎專利商標(biāo)事務(wù)所 44233 | 代理人： | 張藝影;李奕暉 |
| 地址： | 518029 廣東省深圳市福*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 太陽能電池 沉積 放電 極板 陣列 | ||
1.一種太陽能電池沉積用放電電極板陣列，包括至少一個電極板組件、信號饋入組件，其特征在于還包括由多個帶屏蔽罩的電極板組件和信號饋入組件構(gòu)成的電極板陣列，該電極板組件包括至少一對陰極板和一塊陽極板，信號饋入組件的一個端面呈矩形，該矩形端面與電極板組件的饋入口面接觸連接，饋入高頻或甚高頻功率電源信號至電極板組件的每塊陰極板背面的中心區(qū)域下凹面內(nèi)的饋入口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池沉積用放電電極板陣列，其特征在于所述的電極組件的陽極板的兩個面分別朝向?qū)ΨQ放置的陰極板的有效放電工作面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池沉積用放電電極板陣列，其特征在于所述的信號饋入組件包括由銅質(zhì)饋入芯帶和外表屏蔽層構(gòu)成Z字形條狀的信號饋入帶。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池沉積用放電電極板陣列，其特征在于所述的電極板組件包括單面放電的陰極板、陶瓷絕緣層、屏蔽罩，所述的屏蔽罩覆蓋整個陰極板背面和側(cè)面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽能電池沉積用放電電極板陣列，其特征在于所述的電極板陣列由多套帶屏蔽罩的陰極板與多套接地的陽極板，構(gòu)成具有放電間距的電極板腔室陣列。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的一種薄膜太陽能電池沉積用放電電極板陣列，其特征在于所述的陰極板屏蔽罩，還包括射頻或甚高頻功率電源信號饋入至陰極板背面的中心位置及四周側(cè)面的屏蔽。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池沉積用放電電極板陣列，其特征在于所述的信號饋入組件的另一端接包括高頻或甚高頻功率電源信號在內(nèi)的陰極輸出口和功率電源匹配器。?
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
