[實用新型]一種用于太陽能硅芯片檢測機臺的緩沖輸送檢測裝置有效
| 申請號: | 201020219502.0 | 申請日: | 2010-06-08 |
| 公開(公告)號: | CN201820770U | 公開(公告)日: | 2011-05-04 |
| 發明(設計)人: | 陳建安 | 申請(專利權)人: | 致茂電子(蘇州)有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;G01N21/88;G01R31/26 |
| 代理公司: | 廣東國暉律師事務所 44266 | 代理人: | 歐陽啟明 |
| 地址: | 215011 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 太陽能 芯片 檢測 機臺 緩沖 輸送 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種緩沖輸送檢測裝置,特別是一種用于太陽能硅芯片檢測機臺的緩沖輸送檢測裝置。?
背景技術
太陽能板之主要構成部件為太陽能硅芯片,太陽能硅芯片既輕且薄,在自動化制造與檢測過程中,倘若稍有不慎,即有可能造成破損、缺角、或割損,甚至產生肉眼無法察覺的微細裂縫,這些問題應該竭盡可能避免,以提升太陽能硅芯片在制造及檢測過程中的合格率。?
現有太陽能硅芯片檢測機臺,太陽能硅芯片在太陽能硅芯片檢測機臺輸送過程中,由一組承載輸送件承載傳送,請參考如圖1所示,以皮帶輪承載模式示意,此承載輸送件11設置在一基座12上,太陽能硅芯片3通過承載輸送件11之承載的傳送,沿著一個特定方向輸送,至一個預定受測位置進行檢測作業。?
此處的檢測作業可大概分為一組光學檢測及一組光電檢測,所謂光學檢測是指由例如攝影機等光學影像攝取裝置,獲得太陽能硅芯片3的外部影像數據,例如外表是否有刮痕、微裂、或布線是否良好,用以判斷太陽能硅芯片3是否有外表瑕疵,另如太陽能硅芯片3的外表色澤等用以后續分類的特性。至于光電檢測,則是由檢測器13模擬太陽光的光源發光,照射到受測太陽能硅芯片3上,再用檢測器13中的探針導接接觸到太陽能硅芯片3的匯流電極,導出太陽能硅芯片3受光照所發的電能,從而判斷其接收光能轉換為電能輸出的轉換效率是否良好;或者,是由檢測器13中的探針輸出電能給太陽能硅芯片3,并且由紅外線攝影機取得待測太陽能硅芯片3的紅外線影像,藉以判斷硅芯片中是否存在內部瑕疵。?
然而,太陽能硅芯片3厚度甚薄,而且在制造過程中難免出現輕微翹曲,現有機臺的基座12在對應檢測器13的探針位置是平坦的硬質承載平面,因此當探針向下抵觸到太陽能硅芯片3時,太陽能硅芯片3同時受到檢測器13與基座12的擠壓,對本身翹曲情形較嚴重的太陽能硅芯片3,將如圖2所示,造成受測太陽能硅芯片3的破損或缺角,使得檢測過程中增加不必要的損壞,合格率因此降低。?
尤其如圖3所示,當被擠壓破損的太陽能硅芯片3被承載輸送件11傳送到下一站,少許殘留的破片將遺留在基座12上,下一片受測太陽能硅芯片3持續被傳送到檢測位置時,更會受到殘留的破片支撐而被架高,當探針下壓時更容易破片損壞,即使僅是因此而受到刮傷,仍然會降低合格率;由此,一片受壓而破損將造成后續更多太陽能硅芯片3的損傷,大大影響機臺的工作效率。?
因此,提供一種降低太陽能硅芯片因為受到檢測器與基座的擠壓而破損的幾率,進而提升太陽能硅芯片的合格率,增加機臺檢測效率,是現有技術尚未解決的問題。?
實用新型內容
本實用新型之一目的,在于提供一種在檢測過程無損壞受測太陽能硅芯片的用于太陽能硅芯片檢測機臺的緩沖輸送檢測裝置。?
本新型之另一目的,在于提供一種提升太陽能硅芯片在自動化制造與檢測過程中合格率的用于太陽能硅芯片檢測機臺的緩沖輸送檢測裝置。?
本新型之再一目的,在于提供一種減少太陽能硅芯片受測過程中,因檢測過程破片,導致必須停機清除處理的機率的用于太陽能硅芯片檢測機臺的緩沖輸送檢測裝置。?
本實用新型是這樣實現的,一種用于太陽能硅芯片檢測機臺的緩沖輸送檢測裝置,該太陽能硅芯片檢測機臺包含一組基座、一組處理裝置、一組接受該處理裝置指令的分類裝置、及設置于該基座的緩沖輸送檢測裝置,且該等受測太陽能硅芯片分別具有復數供傳輸電能的匯流電極,該緩沖輸送檢測裝置包含:?
一組設置于該基座、沿著輸送方向承載該等受測太陽能硅芯片經過一個預定受測位置的承載輸送件;?
一組對應該承載輸送件、檢測該等受測太陽能硅芯片、并輸出檢驗數據至該處理裝置的檢測器;?
其中,該檢測器包括一組與該預定受測位置對應、抵接該等匯流電極的探針;以及該承載輸送件在對應該預定受測位置處,與下方的基座保持有一個緩沖下壓距離。?
更具體的,該抵接該等匯流電極的探針為一組探針,該檢測器更包括一組驅動該組探針升降的機械臂。?
更具體的,該檢測器更包括一組高亮度光源。?
更具體的,該承載輸送件包括復數組皮帶輪,及復數分別受該等復數組皮帶輪帶動、承載該等受測太陽能硅芯片的皮帶。?
本發明還提供了一種太陽能硅芯片檢測機臺,該檢測機臺包含:?
一組基座;?
一組處理裝置;?
一組接受該處理裝置指令的分類裝置;及?
一組設置于該基座的緩沖輸送檢測裝置,包括:?
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H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





