[實用新型]一種自動接液器

有效

• 申請號: 201020216096.2
• 申請日: 2010-06-04
• 公開（公告）號: CN201684764U
• 公開（公告）日: 2010-12-29
• 發明（設計）人: 丁士成;沈憶華;袁馨
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;B08B3/08
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及濕法清洗設備的結構改進，尤其涉及一種用于濕法清洗設備的自動接液器。

背景技術

在半導體工藝中，幾乎每一道工序都要用到晶圓清洗的問題，晶圓清洗的好壞對器件性能有重要的影響，如果處理不當，會嚴重影響晶圓的性能，影響晶圓的穩定性和可靠性，甚至會導致晶圓報廢。因此晶圓清洗對于半導體器件生產具有重要作用，濕法化學清洗是一種常見的晶圓清洗技術，該技術利用各種化學試劑和有機溶劑與吸附在被清洗物體表面上的雜質和油污發生化學反應或溶解作用，或伴以超聲、加熱、抽真空等物理措施，使雜質從被清除物體的表面脫附(解吸)，然后用大量高純熱、冷去離子水沖洗，從而獲得晶圓結晶表面。所以在濕法化學清洗時，用到多種化學試劑，多種液體化學物質通過濕法清洗設備的不同噴嘴管噴出，噴到晶圓表面進行清理。圖1為現有的一種濕法清洗設備的噴嘴管示意圖。參考圖1，當用到其中一種化學試劑時，打開該化學試劑對應的噴嘴管10，對晶圓進行化學處理，同時關閉其他噴嘴管。

然而當關閉噴嘴管時，仍有一些化學試劑殘留物流到晶圓上。殘留的化學試劑會污染晶圓，甚至影響晶圓的產量。所以很多濕法清洗設備廠商為解決這一問題，想出了很多解決辦法，其中之一就是在噴嘴管上設置倒吸閥，就是在該噴嘴管關閉后啟動倒吸閥，將噴嘴管內殘留液體化學物質吸出。這種倒吸閥不能完全吸出殘留液體化學物質，容易出現故障，且價格昂貴。

實用新型內容

為解決現有濕法清洗設備使用完后，噴嘴管內殘留液體化學物質滴落在晶圓上污染晶圓的問題，本實用新型提供一種自動接液器，且該自動接液器符合結構簡單、操作方便、不易損壞、成本低廉等要求。

為解決上述問題，本實用新型提供一種自動接液器，所述自動接液器包括接液杯、導液管、機械臂和控制裝置；所述導液管與所述接液杯的底部密封連接，所述機械臂的一端設置有機械臂手，所述機械壁手支撐所述接液杯，所述機械臂的另一端與所述控制裝置電性相連。較佳的，所述接液杯形狀為上大下小的圓臺狀。

進一步的，所述自動接液器的材料為耐酸堿材料。

進一步的，所述接液杯和所述導液管的材料為塑料。

綜上所述，所述自動接液器解決了殘留化學物質對晶圓的污染問題，在實際使用中，有效提高了所述晶圓的產量且所述自動接液器的結構簡單。

進一步的，所述自動接液器的取材方便、使用壽命長且成本較低。

附圖說明

圖1為現有的一種濕法清洗設備的噴嘴管示意圖。

圖2為本實用新型一個實施例中自動接液器的結構示意圖。

圖3為本實用新型實施例中所述自動接液器的使用示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型的內容更加清楚易懂，以下結合說明書附圖，對本實用新型的內容作進一步說明。當然本實用新型并不局限于該具體實施例，本領域內的普通及說人員所熟知的一般替換也涵蓋在本實用新型的保護范圍內。

其次，本實用新型利用示意圖進行了詳細的表述，在詳述本實用新型實例時，為了便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應以此作為對本實用新型的限定。

圖2為本實用新型一個實施例中自動接液器的結構示意圖。圖3為本實用新型實施例中所述自動接液器的使用示意圖。參考圖2所示，本實用新型提出一種自動接液器，在濕法清洗設備中，所述自動接液器用于接噴嘴管10滴落的殘留化學液體，防止殘留化學液體滴落在噴嘴管10下方的晶圓20上，所述自動接液器位于所述噴嘴管10和所述晶圓20之間，參考圖2所示，所述自動接液器包括接液杯1、導液管2、機械臂3和控制裝置4；在本實施例中所述接液杯1的形狀為能承接液體的杯狀即可，如圓柱、立方柱或上大下小的圓臺狀，其中較佳的是上大下小的圓臺狀；所述導液管2與所述接液杯1底部密封連接，所述導液管2另一端與廢液收集處(圖中未標示)相連，所述化學液體流入所述接液杯1后順所述導液管2流到所述廢液收集處；所述機械臂3一端設置有機械臂手3a，所述機械臂手3a環繞所述接液杯1，緊抓使所述接液杯1固定在所述機械臂手3a上，所述機械臂3另一端與所述控制裝置4電性相連，在本實施例中，所述控制裝置4與所述濕法清洗設備的控制裝置相配合，所述機械臂3在所述控制裝置4的控制下可水平移動。

進一步的，所述自動接液器的材料為耐酸堿材料。