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[實用新型]硅片多線切割機接地檢測系統及其檢測電極有效

專利信息
申請號: 201020214085.0 申請日: 2010-06-01
公開(公告)號: CN201645673U 公開(公告)日: 2010-11-24
發明(設計)人: 殷貴寶;陳樂 申請(專利權)人: 英利能源(中國)有限公司
主分類號: B28D5/04 分類號: B28D5/04;G01R31/02
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 魏曉波;逯長明
地址: 071051 河*** 國省代碼: 河北;13
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 硅片 切割機 接地 檢測 系統 及其 電極
【權利要求書】:

1.一種檢測電極,用于硅片多線切割機接地檢測系統,包括電極桿以及位于所述電極桿兩端的支撐板,其特征在于,所述支撐板之間設有兩根上、下間隔且相互平行的電極桿。

2.根據權利要求1所述的檢測電極,其特征在于,所述兩根電極桿在電路上相串聯。

3.根據權利要求2所述的檢測電極,其特征在于,所述兩根電極桿的引線端通過螺釘相串聯,其中一根電極桿與導線連接。

4.根據權利要求1所述的檢測電極,其特征在于,所述支撐板上開設有縱向插孔槽,所述電極桿的兩端卡接于所述插孔槽的孔位中。

5.根據權利要求4所述的檢測電極,其特征在于,所述電極桿引線端的支撐板的插孔槽具有向上豁通的開口。

6.根據權利要求1至5任一項所述的檢測電極,其特征在于,所述支撐板呈扁平的直角形。

7.根據權利要求1至5任一項所述的檢測電極,其特征在于,所述支撐板具體為尼龍支撐板。

8.根據權利要求1至5任一項所述的檢測電極,其特征在于,所述電極桿具體為金屬電極桿。

9.根據權利要求1至5任一項所述的檢測電極,其特征在于,所述支撐板上開設有兩道縱向的長圓孔。

10.一種硅片多線切割機接地檢測系統,包括檢測電極,其特征在于,所述檢測電極具體為上述權利要求1至9任一項所述的檢測電極。

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