[實用新型]沉積環和靜電吸盤

有效

• 申請號: 201020180720.8
• 申請日: 2010-04-29
• 公開（公告）號: CN201732778U
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發明（設計）人: 方文勇;劉兆虎;曾海;李江風
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體處理室用處理套件，尤其涉及處理室內常用的沉積環和靜電吸盤。

背景技術

在半導體處理時，處理室內常用到沉積環和與之配套使用的靜電吸盤，然而由于設計原因，現有的沉積環和靜電吸盤經常容易安裝反。

參照圖1所示，處理室10包括：腔體500，所述腔體內設置有靜電吸盤100、與所述靜電吸盤100配套使用的沉積環200、位于所述靜電吸盤上的基板400、位于所述腔體500側壁上的覆蓋環300。

當對所述處理室進行預防和保養時，需要將所述沉積環200安裝于所述靜電吸盤100上，正確的安裝結果如圖1所示；但是，由于所述沉積環200的正反兩面極其相似，操作人員經常將其安裝反，錯誤的安裝結果如圖2所示。由圖1可知，正確安裝沉積環200后，沉積環200的側壁200a的傾斜方向與覆蓋環300的側壁300a的傾斜方向一致；由圖2可知，錯誤安裝沉積環200后，沉積環200的側壁200a的傾斜方向與覆蓋環300的側壁300a的傾斜方向不一致。

對所述處理室10進行預防保養時，所述靜電吸盤100上升使所述覆蓋環300安裝于所述沉積環200上，正確的安裝結果如圖3所示，錯誤的安裝結果如圖4所示。由圖3可知，當正確安裝所述沉積環200，再安裝所述覆蓋環300時，所述沉積環200的凸起部200b通過所述覆蓋環300的凹陷部300b，使沉積環200與覆蓋環300保持一定距離；由圖4可知，當錯誤安裝所述沉積環200，再安裝所述覆蓋環300時，由于所述沉積環200的凸起部200b朝下，所述覆蓋環300和所述沉積環200緊密接觸，且由于重力以及2種材料熱膨脹系數不同，所述沉積環200的側壁200a和所述覆蓋環300的側壁300a受熱導致卡在一起且卡得很緊。因此，當所述處理室10預防和保養完后，需要將所述靜電吸盤100下降，由于沉積環200和覆蓋環300卡得很緊，所以，本應隨所述靜電吸盤100下降的沉積環200和基板400與所述覆蓋環300卡在一起，被卡的情況如圖5所示。

所述沉積環200和所述靜電吸盤100的平面結構圖如圖6所示，所述沉積環200上設置有第一凸起202、第二凸起204和第三凸起206，所述第一凸起202、第二凸起204和第三凸起206的形狀大小相同、構成等邊三角形，相應的，所述靜電吸盤100上設置有第一凹槽102、第二凹槽104和第三凹槽106，第一凹槽102、第二凹槽104和第三凹槽106的形狀大小也相同并構成等邊三角形。

所述沉積環200、基板400和覆蓋環300被卡在一起，有可能因為卡得太緊而不能分開，也有可能卡得不夠勁而使所述基板400和沉積環200掉下來，無論哪種情況都會影響使用、甚至造成不必要的損失。

實用新型內容

為了解決現有技術中沉積環經常錯誤安裝到靜電吸盤上的問題，本實用新型提供一種在錯誤安裝沉積環時，沉積環與靜電吸盤不能配合使用的沉積環和靜電吸盤。

本實用新型提供第一種靜電吸盤，包括：2個卡持部，所述2個卡持部的形狀互不相同、和/或大小互不相同，且其中一個卡持部位于所述靜電吸盤的對稱軸上時，另一個卡持部位于所述靜電吸盤的對稱軸之外。

可選的，所述卡持部為凹槽或凸起。

本實用新型還提供與第一種靜電吸盤配合使用的沉積環，包括：2個配合部，所述2個配合部的形狀互不相同、和/或大小互不相同，且其中一個配合部位于所述沉積環的對稱軸上時，另一個配合部位于所述沉積環的對稱軸之外。

可選的，所述配合部為凹槽或凸起。

本實用新型提供第二種靜電吸盤，包括：N個卡持部，其中N≥3，其中，所述N個卡持部的形狀互不相同、和/或大小互不相同、和/或構成不等邊的N邊形。

可選的，所述卡持部為凹槽或凸起。

優選的，所述卡持部的數量為3個。

本實用新型還提供與第二種靜電吸盤配合使用的沉積環，包括：N個配合部，其中N≥3，所述N個配合部的形狀互不相同、和/或大小互不相同、和/或構成不等邊的N邊形。

可選的，所述配合部為凸起或凹槽。

優選的，所述配合部的數量為3個。

把持部和配合部的數量為3個是最優選的，因為3個點確定一個平面，且根據3角形的三點穩定性，3個把持部和3個配合部配合使用的配合程度最高，且避免了制造把持部和配合部時制造更多把持部和配合部的繁瑣；且3個把持部和3個配合部識別起來也比較方便。

本實用新型的把持部和配合部的形狀、大小和位置，只有在所述沉積環正確安裝到所述靜電吸盤上時才能相互配合，因此，操作人員不會將沉積環錯誤安裝到靜電吸盤上，從而避免了不必要的經濟損失。