[實用新型]噴頭電極總成和用于噴頭電極總成的墊圈

有效

• 申請號: 201020175893.0
• 申請日: 2010-04-12
• 公開（公告）號: CN202025711U
• 公開（公告）日: 2011-11-02
• 發明（設計）人: 格雷戈里·R·貝滕科特;高塔姆·巴塔卡亞;西蒙·戈塞爾林;珊蒂·趙
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01J37/02
• 分類號: H01J37/02;H01J37/04;H01J37/32
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 周文強;李獻忠

1.一種噴頭電極總成的墊圈，其中噴頭電極夾緊于襯板，所述墊圈包括導熱導電材料組成的環形帶和多個在其表面上的突出部，該環形帶的外徑小于該噴頭電極的外徑，各突出部的高度至少比該環形帶厚度厚兩倍。

2.根據權利要求1所述的墊圈，其中該突出部包括兩個圓柱形突出部，每個的直徑是該環形帶寬度的至少一半且厚度是該環形帶厚度的至少四倍。

3.根據權利要求1所述的墊圈，其中該環形帶是在多個硅酮橡膠層之間的鋁箔層壓板，該突出部粘性粘合于該環形帶一側。

4.根據權利要求1所述的墊圈，其中該多個突出部由兩個隔開180°的圓柱形突出部組成。

5.根據權利要求1所述的墊圈，其中該環形帶具有平的上部和下部表面，厚度為0.005至0.01英寸，該突出部是平的圓盤，厚度為0.02至0.04英寸，以及該突出部結合于該環形帶一側。

6.根據權利要求1所述的墊圈，其中該環形帶外徑為3至4英寸，內徑為2至3英寸而寬度為0.2至0.4英寸。

7.一種噴頭電極總成，包括：

襯板，包括多個位于該襯板的外部部分的凸輪鎖；

噴頭電極，直徑超過12英寸，并包括由該噴頭電極的上面和下面限定的中心部分和邊緣部分，該上面包括延伸跨過該中心部分的平面，該下面由延伸跨過該中心部分的平的內部表?面以及延伸跨過該邊緣部分的階梯狀外部表面限定，該階梯狀外部表面包括限定該噴頭電極的厚度增大的區域的環形平面；多個在該電極的中心部分中的氣體出口，通過該出口工藝氣體可傳輸至該噴頭電極和下部電極之間的間隙，半導體基片支撐在該下部電極上，該上面的邊緣部分中多個周向隔開的插口，該插口支撐與該襯板的凸輪鎖嚙合的向上延伸鎖緊銷，從而將該噴頭電極夾緊于該襯板；以及

權利要求1所述的墊圈，壓縮在該噴頭電極和該襯板之間，該噴頭電極中凹處中的墊圈的突出部，該環形帶防止該噴頭電極的上面免于在該噴頭電極的溫度循環期間與該襯板的下面摩擦。

8.根據權利要求7所述的噴頭電極總成，其中該突出部包括兩個圓柱形突出部，每個的直徑是該環形帶寬度的至少一半，且厚度是該環形帶厚度的至少四倍。

9.根據權利要求7所述的噴頭電極總成，其中該環形帶是在多個硅酮橡膠層之間的鋁箔層壓板，該突出部粘性粘合于該環形帶一側。

10.根據權利要求7所述的噴頭電極總成，其中該多個突出部由兩個隔開180°的圓柱形突出部組成。

11.根據權利要求7所述的噴頭電極總成，其中該環形帶具有平的上部和下部表面，厚度為0.005至0.01英寸，該突出部是平的圓盤，厚度為0.02至0.04英寸，以及該突出部粘合于該環形帶一側。?

12.根據權利要求7所述的噴頭電極總成，其中該環形帶外徑為3至4英寸，內徑為2至3英寸而寬度為0.2至0.4英寸。

13.根據權利要求7所述的噴頭電極總成，進一步包括該襯板和該噴頭電極之間的氣密層，該氣密層位于氣體通道的外側。?