[實(shí)用新型]一種高速旋轉(zhuǎn)真空破壞機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020149486.2
• 申請(qǐng)日: 2010-03-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201819008U
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉青山
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市華騰半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F17D1/20
• 分類(lèi)號(hào): F17D1/20
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種高速旋轉(zhuǎn)真空破壞機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述真空破壞機(jī)構(gòu)包括底座、旋轉(zhuǎn)軸、上下真空結(jié)合零件與彈性固定片，下真空結(jié)合零件固定在底座上，彈性固定片分別與上真空結(jié)合零件、旋轉(zhuǎn)軸連接，上真空結(jié)合零件安裝在轉(zhuǎn)軸上，上下真空結(jié)合零件上開(kāi)有若干個(gè)孔，旋轉(zhuǎn)軸的中間開(kāi)有孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速旋轉(zhuǎn)真空破壞機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述上真空結(jié)合零件上開(kāi)有若干個(gè)獨(dú)立的孔，所開(kāi)獨(dú)立孔數(shù)與真空破壞機(jī)構(gòu)中的真空破壞通道數(shù)相對(duì)應(yīng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速旋轉(zhuǎn)真空破壞機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述下真空結(jié)合零件上開(kāi)有若干個(gè)獨(dú)立的孔，所開(kāi)獨(dú)立孔數(shù)與真空破壞機(jī)構(gòu)中的工位數(shù)相對(duì)應(yīng)。