[實用新型]擋板冷卻機構

無效

• 申請號: 201020140683.8
• 申請日: 2010-03-23
• 公開（公告）號: CN201648511U
• 公開（公告）日: 2010-11-24
• 發明（設計）人: 楊明生;葉宗峰;劉惠森;范繼良;王曼媛;王勇;張華
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/24
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種擋板冷卻機構，適用于與冷卻介質配合使用，所述擋板通過旋轉軸懸設于提供真空環境的真空腔體內并位于蒸發源與待鍍基板之間，所述旋轉軸的上端與所述擋板固定連接，所述旋轉軸的下端穿過所述真空腔體并與真空腔體外的傳動組件固定連接，所述旋轉軸與所述真空腔體之間設有動密封組件，所述動密封組件套設于所述旋轉軸上并與所述旋轉軸樞接，其特征在于，所述擋板冷卻機構包括：連接座、連接件、冷卻腔、冷卻管、輸出管、輸入接口及輸出接口，所述擋板通過所述連接座與所述旋轉軸固定連接，所述連接件套設于所述旋轉軸位于真空腔體外的端部上，所述連接件的上端與所述旋轉軸樞接，所述連接件的下端與所述輸入接口固定連接，所述輸入接口與所述輸出接口固定連接并位于所述連接件與輸出接口之間，所述旋轉軸、連接件、輸入接口及輸出接口均沿所述旋轉軸的軸向方向開設有中空結構并相互連通形成所述冷卻腔，所述輸出管懸于所述冷卻腔內并貫穿所述旋轉軸、連接件、輸入接口，所述輸出管位于腔體外的末端與所述輸出接口固定連接，所述冷卻管鋪設于所述擋板上，所述冷卻管具有輸入端與輸出端，所述冷卻管的輸入端與所述冷卻腔連通，所述冷卻管的輸出端與所述輸出管連通，所述輸入接口與所述冷卻腔連通，所述輸出接口與所述輸出管連通。

2.如權利要求1所述的擋板冷卻機構，其特征在于，所述連接座包括上連接座與下連接座，所述上連接座與所述擋板固定連接，所述下連接座與所述旋轉軸的上端固定連接，所述上連接座與所述下連接座通過螺釘固定連接，所述上連接座與所述下連接座之間設有第一密封圈，所述上連接座上開設有上空腔，所述下連接座上開設有下空腔，所述輸出管位于真空腔體內的端部容置于所述上空腔內，所述輸出管與所述上空腔之間設有第二密封圈，所述上空腔與所述下空腔連通，所述上空腔分別連通所述冷卻管的輸出端及所述輸出管，所述下空腔分別連通所述冷卻管的輸入端及所述冷卻腔。

3.如權利要求2所述的擋板冷卻機構，其特征在于，所述下連接座與所述旋轉軸之間還設有中空的旋轉管，所述旋轉管的上端與所述上連接座固定連接，所述旋轉管的下端與所述旋轉軸固定連接，所述輸出管貫穿所述旋轉管。

4.如權利要求1所述的擋板冷卻機構，其特征在于，所述擋板的表面對應所述冷卻管開設有凹槽，所述冷卻管容置于所述凹槽中。

5.如權利要求4所述的擋板冷卻機構，其特征在于，所述冷卻管為圓形管，所述凹槽為弧形凹槽。

6.如權利要求4所述的擋板冷卻機構，其特征在于，所述冷卻管為矩形管，所述凹槽為矩形凹槽。

7.如權利要求1所述的擋板冷卻機構，其特征在于，所述冷卻介質為冷水。

8.如權利要求1所述的擋板冷卻機構，其特征在于，所述傳動組件為齒輪，所述齒輪固定在所述旋轉軸上并位于所述動密封組件與連接件之間。

9.如權利要求1所述的擋板冷卻機構，其特征在于，所述冷卻管為金屬管。

10.如權利要求1所述的擋板冷卻機構，其特征在于，所述擋板包括上表面與下表面，所述下表面與所述蒸發源相對，所述冷卻管鋪設于所述擋板的上表面上。

11.如權利要求10所述的擋板冷卻機構，其特征在于，所述擋板的下表面為磨砂面。

12.如權利要求1所述的擋板冷卻機構，其特征在于，所述連接件與所述旋轉軸之間設有第三密封圈。