[實用新型]密封式供電裝置無效
| 申請號: | 201020140627.4 | 申請日: | 2010-03-23 |
| 公開(公告)號: | CN201639063U | 公開(公告)日: | 2010-11-17 |
| 發明(設計)人: | 楊明生;葉宗鋒;劉惠森;范繼良;王曼媛;王勇;張華 | 申請(專利權)人: | 東莞宏威數碼機械有限公司 |
| 主分類號: | H01R13/52 | 分類號: | H01R13/52;H01R13/46;H01R13/02;H01R13/73;H01L21/00 |
| 代理公司: | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人: | 張艷美;郝傳鑫 |
| 地址: | 523000 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 密封 供電 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種輸電裝置,尤其涉及一種適用于向真空腔體輸電的密封式供電裝置。
背景技術
輸電裝置廣泛地運用于各種需要電源供給的密封空間或真空系統中,如半導體領域的成膜、封裝工序等。
例如,隨著有機半導體技術的深入研究,有機器件的應用越來越廣泛,如有機電致發光器件(OLED)。OLED的制備離不開有機薄膜的生成,而現有技術中最成熟的技術是通過蒸鍍技術來完成有機薄膜的制備。在使用真空蒸鍍制備薄膜時,三類加熱蒸發源如電阻加熱蒸發源、電子束加熱蒸發源和感應加熱蒸發源通常被用于加熱和蒸發材料。上述各種蒸發源的使用均需要電源的提供,因此,各種用于向真空腔體內輸電的密封式供電裝置應運而生。
隨著真空蒸鍍技術的發展,對于用于上述真空蒸鍍系統的輸電裝置的要求越來越高。不僅要求其密封性能要好,還要求其安全性能要高且力求結構簡單。然而,現有的輸電裝置無法全面地滿足上述的各個功能和要求。
因此,急需一種結構簡單、密封性能較好且安全性能較高的密封式供電裝置以解決上述現有技術中的缺陷。
實用新型內容
針對上述現有技術的不足,本實用新型的目的在于提供一種密封式供電裝置,該密封式供電裝置結構簡單、密封性較好且安全性較高。
為了實現上述目的,本實用新型的技術方案為:提供一種密封式供電裝置,適用于安裝在真空腔體上以對所述真空腔體的內部供電,所述密封式供電裝置包括絕緣體和導電體,所述絕緣體包括主絕緣體及由所述主絕緣體下端向外側延伸而成的絕緣體凸臺,所述導電體包括主導電體及從所述主導電體向外延伸而成的導電體凸臺,所述真空腔體上開設有絕緣體安裝孔,所述絕緣體上開設有導電體安裝孔,所述絕緣體安裝于所述絕緣體安裝孔上并緊貼所述絕緣體安裝孔的內壁,所述導電體套于所述導電體安裝孔內并緊貼所述導電體安裝孔的內壁,所述絕緣體凸臺和所述導電體凸臺通過緊固螺釘緊密地固定于所述真空腔體上。
與現有技術相比,由于本實用新型密封式供電裝置包括了起導電作用的導電體和起絕緣作用的絕緣體,絕緣體將導電體與真空腔體充分隔離,以確保安全性,而通過簡單的凸臺結構的設計實現了導電體和絕緣體與真空腔體的緊密結合,從而保證了密封式供電裝置的密封性。因此,本實用新型密封式供電裝置結構簡單,在確保導電性的同時提高了密封性和安全性。
較佳地,所述密封式供電裝置還包括絕緣環,所述導電體凸臺上開設有絕緣環安裝孔,所述絕緣環包括主絕緣環及從所述主絕緣環末端向外側延伸而成的絕緣環凸臺,所述主絕緣環安裝于所述絕緣環安裝孔上,所述絕緣環凸臺與所述導電體凸臺相抵靠,所述緊固螺釘貫穿所述絕緣環和所述絕緣體凸臺并固定于所述真空腔體上。絕緣環的設置既可以隔離緊固螺釘和導電體凸臺的連接,又可以很好的壓緊導電體凸臺。
較佳地,所述絕緣環凸臺和所述緊固螺釘的釘帽之間設置有墊圈。墊圈的選用,可以防止緊固螺釘將絕緣環凸臺擰壞。
較佳地,所述導電體的兩端均固定有壓線螺釘,使得輸電線與導電體連接時可緊壓在導電體上以防止接觸不良,從而提高輸電性能。
較佳地,所述密封式供電裝置還包括內絕緣蓋,所述內絕緣蓋上開設有電線穿孔,所述內絕緣蓋位于所述真空腔體內并固定于所述絕緣體上。此外,所述密封式供電裝置還包括外絕緣蓋,所述外絕緣蓋上開設有電線穿孔,所述上絕緣蓋位于所述真空腔體外并固定于所述導電體上。所述內絕緣蓋和外絕緣蓋的設置均是為了避免輸電線與導電體連接處外漏,從而防止接觸不良事故和漏電事故的發生以提高所述密封式供電裝置的安全性能。
較佳地,所述密封式供電裝置還包括第一密封圈和第二密封圈,所述絕緣體凸臺上與所述真空腔體相對的表面上開設第一密封槽,與所述導電體凸臺相對的表面上開設第二密封槽,所述第一密封圈套于所述第一密封槽上,所述第二密封圈套于所述第二密封槽上,以進一步保證本實用新型密封式供電裝置對于真空腔體的密封性能。
較佳地,所述密封式供電裝置還包括絕緣圈,所述絕緣圈套設于所述絕緣體凸臺及所述導電體凸臺的外側,以進一步提高本實用新型密封式供電裝置的絕緣性和安全性。
附圖說明
圖1是本實用新型密封式供電裝置安裝于一真空腔體時的結構示意圖。
圖2是圖1所示結構示意圖中A部分的放大圖。
具體實施方式
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