[實用新型]一種用于振動計量的低噪聲外差激光干涉儀

無效

• 申請號: 201020134455.X
• 申請日: 2010-03-15
• 公開（公告）號: CN201622111U
• 公開（公告）日: 2010-11-03
• 發明（設計）人: 左愛斌;于梅
• 申請（專利權）人: 中國計量科學研究院
• 主分類號: G01H9/00
• 分類號: G01H9/00;G01B9/02
• 代理公司: 北京中創陽光知識產權代理有限責任公司 11003
• 代理人: 尹振啟

1.一種用于振動計量的低噪聲外差激光干涉儀，其特征在于，該干涉儀包括激光器、第一分光器、第一反射鏡、第二反射鏡、聲光調制器、第二分光器、1/4波片和探測器，激光器發出的激光經第一分光器分光，透射光依次經過第一反射鏡反射、第二分光器透射后作為參考光，進入探測器；激光經第一分光器的反射光依次經過第二反射鏡、聲光調制器調制、第二分光器后作為測量光，并經1/4波片后用來測量被測物體，被測物體漫反射的反射光返回依次經1/4波片、第二分光器反射后形成有效測量光進入探測器，與參考光干涉。

2.如權利要求1所述的用于振動計量的低噪聲外差激光干涉儀，其特征在于，所述第一反射鏡和第二反射鏡均為直角反射鏡。

3.如權利要求1所述的用于振動計量的低噪聲外差激光干涉儀，其特征在于，所述第一分光器和第二分光器均為單波長偏振分光器，分光器端面鍍有相應波長的增透膜。

4.如權利要求1所述的用于振動計量的低噪聲外差激光干涉儀，其特征在于，所述第一分光器的分光面與所述激光器輸出光路成45°。