[實(shí)用新型]全自動(dòng)排片機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201020116826.1 | 申請(qǐng)日: | 2010-02-09 |
| 公開(公告)號(hào): | CN201655772U | 公開(公告)日: | 2010-11-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳天祥;羅云華;章青春;康金;吳梓明 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 東莞朗誠(chéng)模具有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/677 | 分類號(hào): | H01L21/677;H01L21/50 |
| 代理公司: | 廣州市一新專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44220 | 代理人: | 王德祥 |
| 地址: | 523945 *** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說(shuō)明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 全自動(dòng) 排片機(jī) | ||
1.一種全自動(dòng)排片機(jī),其特征是:所述全自動(dòng)排片機(jī)包括機(jī)架、送料裝置、傳送裝置和機(jī)械手裝置,機(jī)架中部設(shè)有工作臺(tái),工作臺(tái)上設(shè)有一料模,送料裝置和傳送裝置安裝在工作臺(tái)面上,機(jī)械手裝置安裝于機(jī)架上部;
送料裝置包括水平送料臺(tái)、垂直升降臺(tái)和推料氣缸,在水平送料臺(tái)下安裝有一送料氣缸,垂直升降臺(tái)包括升降板、上夾緊氣缸、下夾緊氣缸、第一光纖傳感器、第一伺服電機(jī)和第一滾珠絲桿,上夾緊氣缸安裝在升降板上部,下夾緊氣缸和第一光纖傳感器安裝在升降板下部,第一伺服電機(jī)通過(guò)滾珠絲桿與升降板相連;
傳送裝置包括左右兩條送料導(dǎo)軌,兩導(dǎo)軌之間設(shè)有一轉(zhuǎn)動(dòng)軸,在每一導(dǎo)軌上設(shè)置有若干個(gè)第一皮帶輪,第一皮帶輪之間通過(guò)第一皮帶相連,靠近導(dǎo)軌前端的第一皮帶輪安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)軸上,轉(zhuǎn)動(dòng)軸與第一電機(jī)相連,傳送裝置還包括安裝在導(dǎo)軌末端的第二光纖傳感器;
機(jī)械手裝置包括移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置、手臂和抓手裝置,移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置包括Y軸驅(qū)動(dòng)裝置和垂直安裝在Y軸驅(qū)動(dòng)裝置上的X軸驅(qū)動(dòng)裝置,X軸驅(qū)動(dòng)裝置與Y軸驅(qū)動(dòng)裝置之間通過(guò)一垂直滑塊相連,在X軸驅(qū)動(dòng)裝置上設(shè)有一水平滑塊;
手臂包括有支撐板、升降氣缸、活動(dòng)板,支撐板固定在水平滑塊上,升降氣缸安裝在支撐板的上端,活動(dòng)板安裝在支撐板的下端,升降氣缸的推桿與活動(dòng)板連接,抓手裝置安裝在活動(dòng)板上,抓手裝置包括抓手、抓手旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置和抓手開合驅(qū)動(dòng)裝置,抓手旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置和抓手開合驅(qū)動(dòng)裝置均安裝在活動(dòng)板上,抓手旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)抓手轉(zhuǎn)動(dòng),抓手開合驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)抓手開合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)排片機(jī),其特征是:所述傳送裝置還包括安裝在導(dǎo)軌上的第三光纖傳感器和一連接有擋塊的擋料氣缸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于全自動(dòng)排片機(jī)的機(jī)械手,其特征是:所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置由兩套平行安裝在所述機(jī)架上的驅(qū)動(dòng)組件構(gòu)成,所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置由一套垂直安裝在Y軸驅(qū)動(dòng)裝置上的驅(qū)動(dòng)組件構(gòu)成,所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置上的驅(qū)動(dòng)組件與X軸驅(qū)動(dòng)裝置上的驅(qū)動(dòng)組件均包括導(dǎo)軌、伺服電機(jī)和絲杠,伺服電機(jī)安裝在導(dǎo)軌上,絲杠與伺服電機(jī)相連,垂直滑塊與Y軸驅(qū)動(dòng)裝置上的絲杠相連,水平滑塊與X軸驅(qū)動(dòng)裝置上的絲杠相連,
所述抓手旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置由與抓手相連的旋轉(zhuǎn)軸、安裝在旋轉(zhuǎn)軸上的皮帶輪?和與皮帶輪通過(guò)皮帶相連接的電機(jī)組成,皮帶輪通過(guò)軸承和軸承座固定安裝在活動(dòng)板上,電機(jī)安裝在活動(dòng)板上,旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有同軸的軸向通孔,
所述抓手開合驅(qū)動(dòng)裝置包括氣缸、連桿和中間連接件,氣缸的活塞桿與中間連接件上端固定連接,連桿上端樞接在中間連接件上,連桿的上端還安裝有一軸承,連桿末端設(shè)有圓臺(tái)體,
所述抓手包括一固定板、左手指、右手指、前手指、后手指、左手指撐開板、右手指撐開板、前手指撐開板和后手指撐開板,在固定板下方安裝有前后移動(dòng)的前手指滑塊、后手指滑塊和左右移動(dòng)的左手指滑塊、右手指滑塊,前后手指滑塊對(duì)應(yīng)地與前后手指撐開板固定連接,左右手指滑塊對(duì)應(yīng)地與左右手指撐開板固定連接,左、右手指撐開板與前、后手指撐開板的一端與對(duì)應(yīng)地手指固定連接,另一端均與一軸承連接,前、后手指滑塊之間與左、右手指滑塊之間均設(shè)置有復(fù)位彈簧,
所述連桿穿過(guò)旋轉(zhuǎn)軸上的軸向通孔且連桿末端的圓臺(tái)體與左、右手指撐開板上的軸承與前、后手指撐開板上的軸承接觸連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的全自動(dòng)排片機(jī),其特征是:所述活動(dòng)板上設(shè)有固定塊,所述電機(jī)安裝在固定塊上,在固定塊上側(cè)、下側(cè)設(shè)有銷釘。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的全自動(dòng)排片機(jī),其特征是:所述活動(dòng)板上設(shè)有導(dǎo)線柱,所述電機(jī)和氣缸的電源線和氣缸的氣源線均固定安裝在導(dǎo)線柱上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-6所述的任一種全自動(dòng)排片機(jī),其特征是:在所述活動(dòng)板下端還安裝有一的光電傳感器。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的全自動(dòng)排片機(jī),其特征是:所述機(jī)架下方還設(shè)有電氣控制柜和操作面板。?
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





