[實用新型]一種大振子質量的微慣性傳感器

無效

• 申請號: 201020111015.2
• 申請日: 2010-02-09
• 公開（公告）號: CN201600387U
• 公開（公告）日: 2010-10-06
• 發明（設計）人: 董林璽;顏海霞
• 申請（專利權）人: 杭州電子科技大學
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125;B81B7/02
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 杜軍

1.一種大振子質量的微慣性傳感器，包括玻璃襯底、敏感器質量塊和驅動器質量塊，其特征在于：

敏感器質量塊主體為矩形硅片，敏感器質量塊的兩端通過U形敏感器硅支撐梁與敏感器錨點連接，敏感器錨點固定設置在玻璃襯底上；敏感器質量塊的兩側邊分別對稱設置有兩組硅條組，每組硅條組包括平行設置的m條硅條，m≥2，每組硅條組的硅條的數量相同，每條硅條與敏感器質量塊側邊垂直；

驅動器質量塊分別對應每組硅條組設置，對應每個驅動器質量塊的四個角的位置設置有驅動器錨點，驅動器錨點固定設置在玻璃襯底上，U形驅動器硅支撐梁的一個端點與驅動器錨點連接，另一個端點與驅動器質量塊的一角連接；每個驅動器質量塊和敏感器質量塊對應的一側設置有m條檢測硅條，檢測硅條上刻蝕有梳形阻尼條；檢測硅條與敏感器質量塊側邊的硅條平行、位置對應，敏感器質量塊連接的硅條與對應的檢測硅條交叉設置，組成檢測電容；驅動器質量塊中間刻有方環形槽，方環形槽的槽寬小于敏感器質量塊的硅條與對應檢測硅條的間距；敏感器質量塊的兩側邊的兩組驅動器的對應端部，對應U形驅動器硅支撐梁的側邊上設置有金屬驅動導線；

敏感器質量塊兩端的敏感器錨點上分別設置有敏感器質量塊焊點；每個驅動器質量塊設置有金屬驅動導線的一邊對應的兩個驅動器錨點設置有外部電流驅動焊點，U形驅動器硅支撐梁表面設置有金屬導線，金屬導線的一端與外部電流驅動焊點連接，另一端與金屬驅動導線的一端連接；每個驅動器質量塊另外兩個驅動器錨點中的一個上設置有驅動器焊點。