[實用新型]改良型三氯氫硅提純塔

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020110692.2
• 申請日: 2010-02-09
• 公開（公告）號: CN201614290U
• 公開（公告）日: 2010-10-27
• 發(fā)明（設計）人: 趙振元;劉勝春;姚偉;王明云;江元升;蔣玉梅;張瓊
• 申請（專利權）人: 信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設計研究院有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 成都中亞專利代理有限公司 51126
• 代理人: 胡松濤

技術領域

本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)中的配套設備，具體涉及一種改良型三氯氫硅提純塔。

背景技術

用于多晶硅生產(chǎn)的三氯氫硅，其純度往往要求至少6個9以上(即99.9999％)，但是現(xiàn)有的三氯氫硅提純塔提純的三氯氫硅純度很難達到要求，且三氯氫硅提純塔多為能耗高且效率較低，同時因塔體較高，運輸作業(yè)比較困難，現(xiàn)場組裝和加工的精度也難于保證，故需加以改進。

實用新型內(nèi)容

鑒于上述不足之處，本實用新型的目的在于提供一種提純純度好、能耗低且效率高、結構簡單，運輸方便，安裝加工簡便的改良型三氯氫硅提純塔。

為了達到上述目的，本實用新型通過增加內(nèi)回流裝置，使氣液兩項接觸而積大大增加，同時通過控制內(nèi)回流溫度，使氣液兩相均處于臨界狀態(tài)，從而使分離效率大大提高，具體技術方案如下：一種改良型三氯氫硅提純塔，包括提純塔封頭和提純塔筒體，其中：所述提純塔封頭和提純塔筒體通過法蘭密封連接，所述提純塔筒體為多節(jié)重疊筒體通過連接法蘭連接組成，提純塔筒體內(nèi)設有小直徑內(nèi)回流管，提純塔筒體的外側設有冷卻介質(zhì)進口和冷卻介質(zhì)出口，冷卻介質(zhì)進口和冷卻介質(zhì)出口分別于小直徑內(nèi)回流管連通。

本實用新型提純塔筒體為多節(jié)重疊筒體通過連接法蘭連接組成，因此為加工、運輸、安裝都帶來了方便，通過增加內(nèi)回流裝置，使氣液兩項接觸面積大大增加，同時通過控制內(nèi)回流溫度，使氣液兩相均處于臨界狀態(tài)，從而使分離效率大大提高，從而使得三氯氫硅純度也大大提高。

附圖說明

圖1本實用新型結構示意圖

圖中1.提純塔封頭????2.小直徑內(nèi)回流管????3.冷卻介質(zhì)進口????4.冷卻介質(zhì)出口????5.提純塔筒體????6.連接法蘭

具體實施方式

下面我們將結合附圖對本實用新型做進一步的說明：

如圖1所示，一種改良型三氯氫硅提純塔，包括提純塔封頭1和提純塔筒體5，其中，提純塔封頭1和提純塔筒體5通過法蘭密封連接，提純塔筒體5為多節(jié)重疊筒體通過連接法蘭6連接組成，提純塔筒體5內(nèi)設有小直徑內(nèi)回流管2，提純塔筒體5的外側設有冷卻介質(zhì)進口3和冷卻介質(zhì)出口4，冷卻介質(zhì)進口3和冷卻介質(zhì)出口4分別于小直徑內(nèi)回流管2連通。