[實用新型]三氯氫硅合成爐供氣結(jié)構(gòu)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201020101525.1 | 申請日： | 2010-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN201626836U | 公開（公告）日： | 2010-11-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王國林 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇福斯特石化裝備有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 225500 江蘇省姜堰市經(jīng)*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 三氯氫硅 合成 供氣 結(jié)構(gòu) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種三氯氫硅合成爐供氣結(jié)構(gòu)，它包括反應(yīng)段(1)、供氣室(4)及其相配合處平置的氣體分布板(3)，板狀的氣體分布板(3)板面上均布軸向通孔(3.1)，朝反應(yīng)段(1)一側(cè)的通孔(3.1)為螺孔，每只螺孔都配裝噴嘴(2)；其特征在于：內(nèi)空結(jié)構(gòu)的噴嘴(2)上端為盲端，底端敞口與氣體分布板(3)上的通孔(3.1)相通，噴嘴(2)腰部壁上對稱設(shè)有出氣口(2.1)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三氯氫硅合成爐供氣結(jié)構(gòu)，其特征在于：噴嘴(2)腰部壁上的出氣口(2.1)為朝下的斜孔，出氣口(2.1)軸線與噴嘴(2)軸線相交的夾角為40°～50°。
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