[發明專利]一種區分材料二次電子和背散射電子的測試裝置

有效

• 申請號: 201010617890.2
• 申請日: 2010-12-31
• 公開（公告）號: CN102109477A
• 公開（公告）日: 2011-06-29
• 發明（設計）人: 陳益峰;李存惠;柳青
• 申請（專利權）人: 中國航天科技集團公司第五研究院第五一○研究所
• 主分類號: G01N23/22
• 分類號: G01N23/22;G01N23/203;G01R19/00
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 楊志兵;張利萍

1.一種區分材料二次電子和背散射電子的測試裝置，其特征在于：所述裝置包括光欄(2)，法拉第筒(3)，電流收集極(4)、絕緣墊(5)、阻滯柵網(6)和樣品臺(7)；其中，光欄(2)位于電子發射裝置的電子射出口處，光欄(2)中間有一小孔正對電子射出方向；法拉第筒(3)可以自由移動，對電子進行測量時位于光欄(2)后方，正對光欄(2)上小孔電子射出處，測量完畢后即撤出所述裝置；電流收集極(4)、絕緣墊(5)和阻滯柵網(6)共同組成一個中心有一通孔的半圓弧，電流收集極(4)構成半圓弧的外側，阻滯柵網(6)構成半圓弧的內側，絕緣墊(5)分別位于所述通孔的左右兩側，將左半部分電流收集極(4)和阻滯柵網(6)連接起來，將右半部分電流收集極(4)和阻滯柵網(6)連接起來；樣品臺(7)位于所述半圓弧的底部與通孔相對處；

其中，光欄(2)上小孔的直徑為1～5mm，控制通過的電子束斑大小，所述電束斑小于樣品材料的面積；絕緣墊(5)由絕緣材料制成；光欄(2)、電流收集極(4)、阻滯柵網(6)均由金屬材料制成。

2.根據權利要求1所述的一種區分材料二次電子和背散射電子的測試裝置，其特征在于：所述電流收集極(4)、絕緣墊(5)和阻滯柵網(6)共同組成的半圓弧中心的通孔直徑為10～20mm。

3.根據權利要求1或2所述的一種區分材料二次電子和背散射電子的測試裝置，其特征在于：所述裝置具有分析二次電子能譜和背散射電子能譜的功能。