[發明專利]具有狹縫閥隧道支撐件的處理室

有效

• 申請號: 201010617693.0
• 申請日: 2010-12-22
• 公開（公告）號: CN102117735B
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發明（設計）人: S·安瓦爾
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/67
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

1.一種具有狹縫閥隧道支撐件的處理室，所述處理室包含：

室體，所述室體具有經設置以允許基板通過的隧道；

狹縫閥，所述狹縫閥布置在所述室體的外部以有選擇地密封所述隧道；和

支撐組件，所述支撐組件剛性地連接在所述室體與所述狹縫閥的外殼之間 以防止所述隧道變形，其中所述支撐組件進一步包括：

管支撐件，所述管支撐件連接至所述狹縫閥的外殼；和

板支撐件，所述板支撐件連接至所述管支撐件和所述室體。

2.一種具有狹縫閥隧道支撐件的處理室，所述處理室包含：

室體，所述室體具有經設置以允許基板通過的隧道；

狹縫閥，所述狹縫閥布置在所述室體的外部以有選擇地密封所述隧道；和

支撐組件，所述支撐組件剛性地連接在所述室體與所述狹縫閥的外殼之間 以防止所述隧道變形，其中所述支撐組件包含：

板支撐件，所述板支撐件布置在所述狹縫閥的外殼之上并且至少沿著穿 過所述室體形成的所述隧道的長度延伸。

3.一種具有狹縫閥隧道支撐件的處理室，所述處理室包含：

室體，所述室體具有經設置以允許基板通過的隧道；

狹縫閥，所述狹縫閥布置在所述室體的外部以有選擇地密封所述隧道；和

支撐組件，所述支撐組件剛性地連接在所述室體與所述狹縫閥的外殼之間 以防止所述隧道變形，其中所述支撐組件包含：

空心管支撐件，所述空心管支撐件連接至在穿過室體形成的所述隧道之 上的所述處理室。

4.根據權利要求1或2所述的處理室，其中所述板支撐件連接至所述室體 的蓋。

5.根據權利要求1或2所述的處理室，其中所述板支撐件連接至氣體分配 組件的墊板。

6.根據權利要求1所述的處理室，其中所述板支撐件和所述管支撐件由鋼 形成。

7.根據權利要求1、2或3所述的處理室，進一步包含：

蓋，所述蓋封閉所述室體；和

蓋加勁板和/或蓋加勁管，所述蓋加勁板和/或蓋加勁管連接至所述蓋的頂 面。

8.根據權利要求1、2或3所述的處理室，進一步包含：

蓋，所述蓋封閉所述室體；和

射頻導電蓋加勁板，所述射頻導電蓋加勁板連接至蓋的頂面。

9.根據權利要求8所述的處理室，進一步包含：

加勁管，所述加勁管在所述蓋的一側上連接至所述加勁板。

10.根據權利要求8所述的處理室，進一步包含：

覆蓋板，所述覆蓋板布置在所述蓋加勁板之上，所述覆蓋板將所述蓋加勁 板和射頻電源電連接作為接地返回路徑的一部分。

11.根據權利要求10所述的處理室，進一步包含：

導體，所述導體在所述蓋與覆蓋板之間提供射頻連接。

12.根據權利要求10所述的處理室，進一步包含：

導體，所述導體連接在所述蓋與覆蓋板之間。

13.根據權利要求12所述的處理室，其中所述導體進一步包含：

鋁板。

14.根據權利要求12所述的處理室，其中所述導體進一步包含：

第一突出部，所述第一突出部連接至所述蓋；和

第二突出部，所述第二突出部平行于所述第一突出部布置并且自所述第一 突出部偏移，所述第二突出部連接至所述覆蓋板。

15.根據權利要求12所述的處理室，其中所述導體進一步包含Z形側斷 面。