[發明專利]一種p型高透射率（100）-取向的LaNiO₃納米薄膜的制備方法無效

申請號：	201010593790.0	申請日：	2010-12-17
公開（公告）號：	CN102154636A	公開（公告）日：	2011-08-17
發明（設計）人：	胡廣達;焦璐;孫雯;鐘仿仿;武衛兵;楊長紅	申請（專利權）人：	濟南大學
主分類號：	C23C20/08	分類號：	C23C20/08
代理公司：	濟南泉城專利商標事務所 37218	代理人：	李桂存
地址：	250022 山***	國省代碼：	山東;37
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	一種透射率 100 取向 lanio sub 納米薄膜制備方法
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.一種p型高透射率高（100）-?取向的LaNiO₃薄膜的制備方法，其特征是采用以下步驟：

（1）前驅體溶液的制備：采用溶膠凝膠法，按摩爾比1:1稱取硝酸鑭和硝酸鎳作為溶質，溶于摩爾比1:1混合的水和乙醇中，加入檸檬酸和聚乙二醇，配制成前驅體溶液，溶劑摩爾比水：乙醇：檸檬酸：聚乙二醇為=200：200：2：1，溶液濃度為0.08～0.20mol/L；?

（2）LaNiO₃薄膜材料的制備：采用層層退火工藝，先用旋轉涂膜法將前驅體溶液沉積在襯底材料上，然后將材料放置在熱板上烘干，將干燥的薄膜置于快速退火爐中熱處理，熱處理工藝特征在于：在氧氣氣氛下從350℃以10℃/分鐘的速率升溫到450℃，450℃預處理10min，再以15℃/分鐘的速率升溫到600℃，在氮氣氣氛下退火20分鐘，退火溫度為600℃～650℃，得到LaNiO₃薄膜。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于所制得的LaNiO₃薄膜厚度小于50nm，電阻率為1×10^-4?·cm～2×10^-4?·cm，表面粗糙度不大于1nm。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于襯底材料為石英、玻璃、硅片或者金屬薄片，所述金屬薄片為Ni片或Cu片。

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于濟南大學，未經濟南大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201010593790.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。