[發(fā)明專利]一種利用磷肥副產(chǎn)物氟硅酸鈉生產(chǎn)多晶硅的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010591903.3 | 申請日： | 2010-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN102070144A | 公開（公告）日： | 2011-05-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李世江;侯紅軍;楊華春;于賀華;薛旭金;劉海霞;孫永明;王慧;施秀華 | 申請（專利權(quán)）人： | 多氟多化工股份有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/029 | 分類號： | C01B33/029;C01B33/021 |
| 代理公司： | 鄭州睿信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 41119 | 代理人： | 陳浩 |
| 地址： | 454191 河*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 利用 磷肥 副產(chǎn)物 硅酸鈉 生產(chǎn) 多晶 方法 | ||
1.一種利用磷肥副產(chǎn)物氟硅酸鈉生產(chǎn)多晶硅的方法，其特征在于，以磷肥副產(chǎn)物氟硅酸鈉熱解得到的四氟化硅和四氫鋁鈉為原料制得硅烷，硅烷裂解制得多晶硅。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用磷肥副產(chǎn)物氟硅酸鈉生產(chǎn)多晶硅的方法，其特征在于，具體步驟如下所述：（1）磷肥副產(chǎn)物氟硅酸鈉在700℃～900℃下進(jìn)行熱解，生成氟化鈉和四氟化硅氣體；（2）將質(zhì)量比為(1～5)︰1的四氫鋁鈉和四氟化硅在50℃～150℃、二醇二甲醚與甲苯的混合溶劑中反應(yīng)，制得硅烷和四氟鋁鈉；（3）硅烷通過分子篩提純系統(tǒng)，得到高純度的硅烷；（4）提純后的硅烷在700℃～1000℃下裂解生成多晶硅和氫氣。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種利用磷肥副產(chǎn)物氟硅酸鈉生產(chǎn)多晶硅的方法，其特征在于，四氫鋁鈉是由四氟鋁鈉和氫氣在200℃～600℃，鈀、鎳催化劑作用下反應(yīng)生成。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種利用磷肥副產(chǎn)物氟硅酸鈉生產(chǎn)多晶硅的方法，其特征在于，四氟鋁鈉以粘土、工業(yè)鹽、鹽酸為原料，在70℃～90℃下浸取0.5～3h，后過濾，濾液與氫氟酸反應(yīng)制得。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種利用磷肥副產(chǎn)物氟硅酸鈉生產(chǎn)多晶硅的方法，其特征在于，四氫鋁鈉和四氟化硅反應(yīng)得到的四氟鋁鈉循環(huán)利用。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種利用磷肥副產(chǎn)物氟硅酸鈉生產(chǎn)多晶硅的方法，其特征在于，硅烷裂解得到的氫氣循環(huán)用于生產(chǎn)四氫鋁鈉。
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