[發明專利]一種金屬防腐清洗液

有效

• 申請號: 201010582130.2
• 申請日: 2010-12-10
• 公開（公告）號: CN102560510A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 張建;荊建芬;蔡鑫元
• 申請（專利權）人: 安集微電子(上海)有限公司
• 主分類號: C23G1/00
• 分類號: C23G1/00;H01L21/02
• 代理公司: 上海翰鴻律師事務所 31246
• 代理人: 李佳銘

1.一種金屬防腐清洗液，其特征在于，至少含有一種或多種磷酸酯類表面活性劑。

2.如權利要求1所述清洗液，其特征在于，所述的磷酸酯類表面活性劑具有如下結構：

(1)或(2)(X＝RO，RO-(CH₂CH₂O)_n，RCOO-(CH₂CH₂O)_n)或含有兩個以上結構式1的多元醇磷酸酯，

其中R為C8～C22的烷基或烷基苯、甘油基(C₃H₅O₃-)；n＝3～30，M＝H，K，NH₄，(CH₂CH₂O)_1～3NH_3～1和/或Na。

3.如權利要求2所述清洗液，其特征在于，所述的磷酸酯類表面活性劑的含量為重量百分比0.0005～2％。

4.如權利要求3所述清洗液，其特征在于，所述的磷酸酯類表面活性劑的含量為重量百分比0.001～1％

5.如權利要求1所述清洗液，其特征在于，所述清洗液還含有金屬絡合劑，所述的金屬絡合劑為氨羧化合物及其鹽、有機羧酸及其鹽、有機膦酸及其鹽、有機胺。

6.如權利要求5所述清洗液，其特征在于，所述金屬絡合劑為甘氨酸、丙氨酸、纈氨酸、亮氨酸、脯氨酸、苯丙氨酸、酪氨酸、色氨酸、賴氨酸、精氨酸、組氨酸、絲氨酸、天冬氨酸、蘇氨酸、谷氨酸、天冬酰胺、谷氨酰胺、氨三乙酸、乙二胺四乙酸、環己烷四乙酸、乙二胺二琥珀酸、二乙烯三胺五乙酸和三乙烯四胺六乙酸、醋酸、草酸、檸檬酸、酒石酸、丙二酸、丁二酸、馬來酸、蘋果酸、乳酸、沒食子酸和磺基水楊酸、2-膦酸丁烷-1，2，4-三羧酸、氨基三甲叉膦酸、羥基乙叉二膦酸、乙二胺四甲叉膦酸、二乙烯三胺五甲叉膦酸、2-羥基膦酸基乙酸、乙二胺四甲叉膦酸和多氨基多醚基甲叉膦酸、乙二胺、甲醇胺、乙醇胺、二乙烯三胺、五甲基二乙烯三胺、多乙烯多胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺，所述的鹽為鉀鹽、鈉鹽和/或銨鹽的一種或多種；

7.如權利要求5或6所述的清洗液，其特征在于，所述的絡合劑的含量為質量百分比0.01～10％。

8.如權利要求1所述清洗液，其特征在于，所述清洗液還含有醇類和/或醚。

9.如權利要求8所述清洗液，其特征在于，所述醇類為乙醇、乙二醇、丙三醇、所述醚為乙二醇單甲醚、乙二醇二單甲醚、丙二醇單甲醚和/或丙二醇單乙醚。

10.如權利要求8所述清洗液，其特征在于，所述的醇和/或醚的含量為質量百分比0.5～10％。

11.如權利要求1所述清洗液，其特征在于，所述清洗液pH為2-11。