[發明專利]面向ZnO壓電傳感器制造的介電泳裝配方法

無效

• 申請號: 201010574712.6
• 申請日: 2010-12-06
• 公開（公告）號: CN102485641A
• 公開（公告）日: 2012-06-06
• 發明（設計）人: 田孝軍;許可;董再勵
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽自動化研究所
• 主分類號: B82B3/00
• 分類號: B82B3/00;H01L41/053;H01L41/22;G01L1/16
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 俞魯江

1.一種面向ZnO壓電傳感器制造的介電泳裝配方法,其特征在于：利用ZnO納米線作為敏感元件，利用ZnO納米線表面受到外力的作用下時會發生機械變形，形成壓電效應而產生表面電荷，通過測量電荷電勢的大小準確辨別受到外力的大小，利用介電泳技術實現單根和多根ZnO納米線準確裝配到源極和漏極之間。

2.按權利要求1所述的面向ZnO壓電傳感器制造的介電泳裝配方法,其特征在于：所述ZnO經預處理；所述預處理方法為：將酒精分析純溶液與ZnO混合，經超聲振蕩和脈沖后，實現ZnO有效分散，即完成預處理。

3.按權利要求2所述的面向ZnO壓電傳感器制造的介電泳裝配方法,其特征在于：所述酒精溶液為99.9%的分析純溶液；所述ZnO與酒精分析純溶液質量比為1000～1100：1。

4.按權利要求2所述的面向ZnO壓電傳感器制造的介電泳裝配方法,其特征在于：所述預處理方法的具體步驟為：將經混合好的ZnO酒精溶液放入超聲波振蕩器中超聲60-90分鐘，加熱到30?攝氏度，然后取出靜止1小時后得到均勻半透明溶液，待用。

5.按權利要求4所述的面向ZnO壓電傳感器制造的介電泳裝配方法,其特征在于：所述超聲波振蕩頻率為2MHz，峰峰值電壓幅度為10V，電泳持續時間為5秒。

6.按權利要求1所述的面向ZnO壓電傳感器制造的介電泳裝配方法,其特征在于：在利用介電泳裝配ZnO過程中，電場所需的交變電壓信號及頻率通過探針施加，電泳參數如電壓、頻率、持續時間等都可根據實驗情況來調節與監控；在進行介電泳操作時，采用微量移液器取2微升預處理后的ZnO溶液，滴定到微電極間隙后，立即對該電極施加正弦交流信號,其頻率為1MHz,峰峰值電壓為10Vp-p。