[發明專利]LED外延片的制備方法及裝置有效
| 申請號： | 201010563102.6 | 申請日： | 2010-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN102074624A | 公開（公告）日： | 2011-05-25 |
| 發明（設計）人： | 梁秉文 | 申請（專利權）人： | 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | led 外延 制備 方法 裝置 | ||
1.一種LED外延片的制備方法，其特征在于，該方法中，在對襯底基片加熱以生長單晶薄膜的過程中，對襯底基片局部施加與導致該襯底基片局部翹曲的力方向相反的壓力，使襯底基片保持平整狀態。
2.根據權利要求1所述的LED外延片的制備方法，其特征在于，該方法中，是沿周向對襯底基片局部施加與導致該襯底基片局部翹曲的力方向相反的力，所述襯底基片為藍寶石襯底。
3.根據權利要求2所述的LED外延片的制備方法，其特征在于，該方法中，是將藍寶石襯底安放于一加熱平臺上的容置槽中進行加熱的，所述容置槽周邊環形分布復數個壓片，所述壓片一端固定在加熱平臺上，另一端壓設在藍寶石襯底上端面局部上，并對該藍寶石襯底局部施加與導致該襯底局部翹曲的力方向相反的壓力，所述壓片由在所述加熱溫度下能夠保持初始形態的材料制成。
4.根據權利要求2所述的LED外延片的制備方法，其特征在于，該方法中，是將藍寶石襯底安放于一加熱平臺上的容置槽中進行加熱的，且所述藍寶石襯底上緊密嵌設一套體，所述套體上端面設置環形開口，其環形面沿周向壓設在藍寶石襯底上端面的局部上，并對該藍寶石襯底局部施加與導致該襯底局部翹曲的力方向相反的壓力；
所述套體包括可沿水平方向拆分的至少兩個部分；
所述套體由在所述加熱溫度下能夠保持初始形態的材料制成。
5.根據權利要求2-4中任一項所述的LED外延片的制備方法，其特征在于，所述藍寶石襯底的厚度約80～1000μm。
6.一種LED外延片的制備裝置，包括一加熱平臺，所述加熱平臺上設置復數個容置槽，所述容置槽中安放襯底基片，其特征在于，所述制備裝置還包括用以在生長單晶薄膜的過程中對襯底基片局部施加與導致該襯底基片局部翹曲的力方向相反的壓力，使襯底基片保持平整狀態的固定機構。
7.根據權利要求6所述的LED外延片的制備裝置，其特征在于，所述固定機構包括呈環形分布在容置槽周邊的復數個壓片，所述壓片一端固定在加熱平臺上，另一端壓設在襯底基片上端面局部上，并對該襯底基片局部施加與導致該襯底局部翹曲的力方向相反的壓力，所述壓片由在所述加熱溫度下能夠保持初始形態的材料制成。
8.根據權利要求6所述的LED外延片的制備裝置，其特征在于，所述固定機構包括一套體，所述襯底基片緊密嵌設于該套體中，所述套體上端面設置環形開口，其環形面沿周向壓設在襯底基片上端面的局部上，并對該襯底基片局部施加與導致該襯底局部翹曲的力方向相反的壓力；
所述套體包括可沿水平方向拆分的至少兩個部分；
所述套體由在所述加熱溫度下能夠保持初始形態的材料制成。
9.根據權利要求6-8中任一項所述的LED外延片的制備裝置，其特征在于，所述襯底基片為藍寶石襯底。
10.根據權利要求9所述的LED外延片的制備裝置，其特征在于，所述藍寶石襯底直徑為2英寸，厚度約80～450μm；或，所述藍寶石襯底直徑為4英寸，厚度約80～650μm；或，所述藍寶石襯底直徑為6英寸，厚度約80～1000μm。
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