[發(fā)明專利]一種有機(jī)發(fā)光顯示器件制備方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010547696.1
• 申請(qǐng)日: 2010-11-17
• 公開（公告）號(hào): CN102468450A
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳玉琦;徐洪光
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海廣電電子股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56;G03F7/00
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 吳寶根

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種電子顯示器件，特別涉及一種有機(jī)發(fā)光顯示器件制備方法。

背景技術(shù)

通常有機(jī)電致發(fā)光顯示器件為一種三明治結(jié)構(gòu)，一般是由上，下兩個(gè)電極和夾在其中間的具有半導(dǎo)體性質(zhì)的有機(jī)材料薄膜組成，其中的有機(jī)層薄膜可以通過熱蒸發(fā)，旋涂或其他成膜方法制備，當(dāng)電極兩端加上正向直流電壓時(shí)，通過電子和空穴載流子的注入和復(fù)合從而使得器件發(fā)光。在制作中需要將陽極與陰極隔離柱圖案化的刻在具有一定尺寸與形狀的基板上。在陽極和發(fā)光層之間必須引入一種特殊的有機(jī)光刻膠作為絕緣層，這種光刻膠要求介電常數(shù)足夠高，電阻率足夠高，通過這種有機(jī)膜的引入，可以提高了介質(zhì)層整體的絕緣性和耐壓可靠性，緩解甚至消除器件工作時(shí)出現(xiàn)的漏電、打火、擊穿等現(xiàn)象，提高器件的電致發(fā)光性能，提高了器件的工作穩(wěn)定性。但是由于絕緣層和陰極隔離層都要使用濕法光刻，從工藝上說非常繁復(fù)，生產(chǎn)效率低，更重要的是由于兩次涂覆有機(jī)光刻膠，多次烘烤，導(dǎo)致ITO表面殘留有機(jī)物質(zhì)和其他雜質(zhì)的概率大大增加，此外由于絕緣層和陰極隔離層都是要保留一定形狀在基板上的，不能進(jìn)行深度的物理清洗，不能用UV紫外清洗，故無法徹底清除兩次濕法光刻中留存在玻璃基板表面的沾污。當(dāng)進(jìn)行小分子有機(jī)材料薄膜進(jìn)行蒸發(fā)鍍膜時(shí)，由于有機(jī)薄膜層（一般包括空穴傳輸層/發(fā)光層/電子傳輸層）的疏松結(jié)構(gòu)和較薄的總厚度（一般小于1500?）使得基板本身的清潔程度尤為重要。基板表面殘留的有機(jī)物質(zhì)和其他雜質(zhì)在有機(jī)電致發(fā)光顯示器件中會(huì)造成陰極和陽極的短路和斷路，形成顯示屏上的斷線和串線，這些都會(huì)影響器件的性能（發(fā)光亮度，發(fā)光效率，器件壽命），降低了良品率。此外，按照傳統(tǒng)工藝中絕緣層必須要在200℃以上的高溫下后烘約1小時(shí)，以保證絕緣層完全固化，并需冷卻之后再進(jìn)行下一步的工藝，這樣的兩次光刻工藝大大延長了產(chǎn)品的生產(chǎn)周期，降低了產(chǎn)量。因此減少光刻的工藝步驟顯得尤為重要。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是針對(duì)現(xiàn)在有機(jī)電致發(fā)光顯示器件生產(chǎn)周期長的問題，提出了一種有機(jī)發(fā)光顯示器件制備方法，對(duì)有機(jī)電致發(fā)光顯示器件的制備方法進(jìn)行改進(jìn)，縮短制備時(shí)間，從而提高生產(chǎn)效率。

本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種有機(jī)發(fā)光顯示器件制備方法，先制作一個(gè)已刻有金屬電極和ITO陽極圖案的基板，然后通過正性光刻膠的一次涂布，在ITO表面覆蓋上一層均勻分布的絕緣層膠膜，再進(jìn)行前烘，曝光，接著根據(jù)絕緣層的種類進(jìn)行一定時(shí)間的堅(jiān)膜，接著用負(fù)性光刻膠在絕緣層上旋涂上一層厚度均勻的膜層，再進(jìn)行前烘，曝光，堅(jiān)膜，再通過使用有機(jī)顯影液，控制顯影條件，可以同時(shí)獲得相應(yīng)圖形的絕緣層和形成倒三角形狀，最后將該基板放入無塵烤箱中，在220℃的高溫下后烘1個(gè)小時(shí)，有機(jī)發(fā)光器件的基板就完成，在這種基板上通過蒸發(fā)或旋涂的方法制備有機(jī)功能層和金屬背電極。

所述絕緣層的光刻膠層在曝光后需要再進(jìn)行一次堅(jiān)膜，絕緣層使用的是正性光刻膠，采用旋涂的方法成膜。

所述陰極隔離層的光刻膠使用的是負(fù)性光刻膠，采用旋涂的方法成膜。

本發(fā)明的有益效果在于：本發(fā)明一種有機(jī)發(fā)光顯示器件制備方法，克服現(xiàn)有有機(jī)電致發(fā)光器件基板制造技術(shù)中的不足，工藝簡單、生產(chǎn)成本降低，同時(shí)提高良品率和生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明有機(jī)發(fā)光顯示器件結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為現(xiàn)在有機(jī)電致發(fā)光器件中絕緣層和陰極隔離層的制造流程圖；

圖3為本發(fā)明有機(jī)發(fā)光顯示器件中絕緣層和陰極隔離層的制造流程圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示有機(jī)發(fā)光顯示器件結(jié)構(gòu)示意圖，它包括玻璃基板1、透明導(dǎo)電薄膜ITO（陽極）2、絕緣層3、陰極隔離柱4、有機(jī)功能層5、金屬陰極6。

圖2、3分別是傳統(tǒng)和本發(fā)明絕緣層和陰極隔離層的制造流程圖，比較可知本發(fā)明可以用更少的工藝，由于使用的是二次曝光一次顯影一次后烘的工藝，由于減少了濕法光刻的次數(shù)，大大減少了有機(jī)材料在有機(jī)電致發(fā)光器件基板上殘留的概率，同時(shí)也減少了其他雜質(zhì)沾污的可能性，通過其后的有機(jī)功能層的蒸發(fā)制備及后蓋封裝，所獲得的有機(jī)電致發(fā)光器件明顯減少了顯示屏上的斷線和串線數(shù)量，從而提高了器件的性能和壽命。此外由于減少了絕緣層后烘的工序，縮短了生產(chǎn)周期，提高了生產(chǎn)效率。