[發(fā)明專利]用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010536810.0
• 申請(qǐng)日: 2008-11-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101967627A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-02-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李相琝;樸相泰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: SFA股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

本申請(qǐng)是一件分案申請(qǐng)，原案的發(fā)明名稱是“用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室”，原案的申請(qǐng)?zhí)枮椋?00810180988.9，原案的申請(qǐng)日是2008年11月20日。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種裝載室，特別是指一種可以憑借強(qiáng)化結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度而將結(jié)構(gòu)上的變形最小化，以避免因壓差所產(chǎn)生的彎曲應(yīng)力的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的裝載室。

背景技術(shù)

平板顯示器是已廣泛地應(yīng)用于電視產(chǎn)品、電腦螢?zāi)弧⒒蚴莻€(gè)人手提終端機(jī)上。而平板顯示器可以包括液晶顯示器(liquid?crystal?display，LCD)、等離子顯示面板(plasma?display?panel)、以及有機(jī)發(fā)光二極管(organic?light?emitting?diode)。在這些平板顯示器中，液晶顯示器是將介于固態(tài)與液態(tài)之間的中間物質(zhì)的液晶，注入在兩片薄板的上、下玻璃基板之間的空間，利用一種光開(kāi)關(guān)現(xiàn)象以顯示數(shù)字或影像，且使用于上、下玻璃基板電極之間的電壓差改變液晶分子的方向，以產(chǎn)生不同亮度。

目前液晶顯示器廣泛地使用于從如電子手表、電子計(jì)算機(jī)、電視機(jī)的電子產(chǎn)品，到車用產(chǎn)品、里程計(jì)以及飛機(jī)的操作系統(tǒng)等。普遍來(lái)說(shuō)，當(dāng)顯示螢?zāi)坏某叽缧∮?7吋時(shí)，液晶顯示電視已經(jīng)具有20到30吋的尺寸。然而，近來(lái)比較暢銷的液晶顯示電視的尺寸是40吋或以上，且電腦螢?zāi)坏某叽缫矎?0吋或以上而繼續(xù)在增加中。

于是，液晶顯示器的制造商是發(fā)展較大尺寸基板的制造方法。再者，所謂具有約2公尺水平以及垂直長(zhǎng)度的第八代玻璃基板量產(chǎn)，已準(zhǔn)備或者是目前正在生產(chǎn)中。液晶顯示器是經(jīng)由一薄膜電晶體陣列制程(TFT?Arrayprocess)、一液晶胞制程(Cell?process)以及一模塊制程(module?process)大量制造，其中薄膜電晶體陣列制程包括重復(fù)沉積(deposition)、黃光(photolithography)、蝕刻(etching)以及化學(xué)氣相沉積(chemical?vapor?deposition，CVD)等步驟，液晶胞制程是將上、下玻璃基板附著地相互結(jié)合于一起，而模塊制程是用來(lái)完成液晶顯示器產(chǎn)品。

上述薄膜電晶體陣列制程之一的化學(xué)氣相沉積制程，是在一制程腔室(process?chamber)中進(jìn)行，而制程腔室具有化學(xué)氣相沉積制程的一最佳環(huán)境。特別是，在一短時(shí)間內(nèi)處理多個(gè)基板，則廣泛地使用具有復(fù)數(shù)個(gè)且以一預(yù)定間隔而設(shè)置的制程腔室的一化學(xué)氣相沉積設(shè)備。

化學(xué)氣相沉積設(shè)備具有復(fù)數(shù)個(gè)制程腔室以進(jìn)行一化學(xué)氣相沉積制程，一裝載室(loadlock?chamber)以形成在輸入一基板到一相對(duì)應(yīng)的制程腔室之前，供將一基板輸出到制程腔室的環(huán)境，以及一傳輸腔室(transfer?chamber)以連接每一制程腔室與裝載室，且具有一機(jī)械手臂以將基板由裝載室傳輸?shù)较鄬?duì)應(yīng)的制程腔室，或是將基板從制程腔室傳輸?shù)窖b載室。

一種化學(xué)氣相沉積制程是在制程腔室中進(jìn)行，即基板是在高溫低壓的環(huán)境中。因此，難以允許基板在大氣壓力下直接地輸入到高溫高壓下的制程腔室中，故在將基板傳輸到相對(duì)應(yīng)的制程腔室之前，制程腔室必須形成如其相同的環(huán)境，其是由裝載室所完成。也即，裝載室容納基板在大致如制程腔室相同的環(huán)境，或是在將基板從外部世界輸入到制程腔室之前的相同環(huán)境，抑或者是將基板從制程腔室取出到外部世界的相同環(huán)境。

近來(lái)，所謂的多裝載室(multi-loadlock?chamber)具有復(fù)數(shù)個(gè)單組腔室用來(lái)增加制程效率以及改善生產(chǎn)率。請(qǐng)參考圖1以及圖2，是表示一現(xiàn)有多裝載室10的橫斷面圖。

如圖1所示，多裝載室10具有一個(gè)三單組腔室(unit?chamber)的結(jié)構(gòu)，即相互疊置的第一、第二以及第三單組腔室11a、12a、13a，且包括形成在多裝載室10的一上表面的一上壁15，形成在多裝載室10的一下表面的一下壁16，第一、第二、第三腔架(chamber?frame)11、12、13垂直地疊置在上壁15與下壁16之間，一第一隔墻17插設(shè)在第一腔架11與第二腔架12之間，以及一第二隔墻18插置在第二腔架12與第三腔架13之間。供基板輸出或取出而經(jīng)過(guò)的三個(gè)腔槽10a，是形成在多裝載室10的相對(duì)橫向側(cè)。