[發明專利]封裝基板的盲孔開窗對位靶標制作方法有效
| 申請號: | 201010525679.8 | 申請日: | 2010-10-27 |
| 公開(公告)號: | CN102044446A | 公開(公告)日: | 2011-05-04 |
| 發明(設計)人: | 武曉培;劉建輝 | 申請(專利權)人: | 深南電路有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/48 | 分類號: | H01L21/48;H05K3/00 |
| 代理公司: | 深圳市深佳知識產權代理事務所(普通合伙) 44285 | 代理人: | 彭愿潔;李文紅 |
| 地址: | 518000 廣*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 封裝 開窗 對位 靶標 制作方法 | ||
1.一種封裝基板的盲孔開窗對位靶標制作方法,其特征在于,包括以下步驟:
步驟a、將貼靶材料貼附在中心基板的靶標上;
步驟b、將配板層壓在所述中心基板上;
步驟c、將所述配板上與所述貼靶材料所對應的區域切除,并撕掉所述貼靶材料。
2.根據權利要求1所述的封裝基板的盲孔開窗對位靶標制作方法,其特征在于,步驟c具體實現為:
c1、在所述配板上與所述貼靶材料所對應的區域的邊緣進行鉆孔,使得所述配板上與所述貼靶材料所對應的區域的邊緣分布定位孔;
c2、用刀具將所述配板上與所述貼靶材料對應的區域切除,并撕開所述貼靶材料。
3.根據權利要求1所述的封裝基板的盲孔開窗對位靶標制作方法,其特征在于,所述貼靶材料比靶標的尺寸大1mm~2mm。
4.根據權利要求3所述的封裝基板的盲孔開窗對位靶標制作方法,其特征在于,所述貼靶材料比所述靶標的尺寸大1.5mm。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





