[發(fā)明專利]節(jié)省膠膜的貼膜裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010517183.6
• 申請日: 2010-10-22
• 公開（公告）號: CN102082074A
• 公開（公告）日: 2011-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張明星
• 申請（專利權(quán)）人: 上海技美電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/683
• 代理公司: 上海脫穎律師事務(wù)所 31259
• 代理人: 李強(qiáng)

1.節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，包括真空吸附裝置，所述真空吸附裝置包括吸嘴，所述吸嘴與抽真空裝置聯(lián)通；所述吸嘴可沿水平方向移動(dòng)地安裝；還包括可沿薄膜寬度方向移動(dòng)的刀具，所述刀具具有一開口，用于割斷薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，還包括用于放置晶圓的臺(tái)盤，所述臺(tái)盤設(shè)置在吸嘴下方，吸嘴的水平方向移動(dòng)的行程大小使其能夠?qū)⒈∧じ采w在臺(tái)盤上放置的晶圓上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述的臺(tái)盤設(shè)置在基座上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，還包括滾輪，所述滾輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于滾輪軸上，滾輪軸可沿水平方向移動(dòng)地安裝，滾輪軸的移動(dòng)行程使其能夠?qū)Ω采w在晶圓上的薄膜施加壓力。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述滾輪軸可沿豎直方向移動(dòng)地安裝。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，還包括有用于切割薄膜的切割刀。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述切割刀可沿薄膜寬度方向移動(dòng)地安裝。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述切割刀可沿水平方向與吸嘴同步移動(dòng)地安裝，吸嘴設(shè)置于切割刀與滾輪之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述吸嘴與滾輪可同步移動(dòng)地安裝或吸嘴、滾輪與切割刀可同步移動(dòng)地安裝。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，還包括兩個(gè)間隔設(shè)置的機(jī)架板，機(jī)架板可沿水平方向移動(dòng)地安裝；第一橫桿兩端分別連接在一個(gè)機(jī)架板上；第一橫桿上安裝有吸嘴，吸嘴與抽真空裝置聯(lián)通；滾輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于滾輪軸上，滾輪軸兩端分別連接在一個(gè)機(jī)架板上。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述的兩個(gè)機(jī)架板平行設(shè)置。

12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述的第一橫桿可沿豎直方向移動(dòng)地安裝于機(jī)架板上。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述的機(jī)架板上設(shè)置有第一氣缸，第一氣缸設(shè)置有輸出桿；所述輸出桿與第一橫桿相配合驅(qū)動(dòng)第一橫桿沿豎直方向移動(dòng)。

14.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述的機(jī)架板上設(shè)置有第二氣缸，第二氣缸設(shè)置有輸出桿，滾輪軸至少一端與第二氣缸的輸出桿相配合，第二氣缸的輸出桿驅(qū)動(dòng)滾輪軸沿豎直方向移動(dòng)。

15.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述機(jī)架板上還安裝有夾膜裝置，所述夾膜裝置設(shè)置有可允許薄膜穿過的狹縫，夾膜裝置設(shè)置在滾輪上方。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述的夾膜裝置的狹縫大小可調(diào)。

17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述的夾膜裝置沿薄膜寬度方向可全部夾住薄膜。

18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述的夾膜裝置包括固定桿和支撐桿，固定桿與支撐桿之間的間隙為狹縫；所述支撐桿為圓柱形，固定桿設(shè)置有內(nèi)凹槽與支撐桿相配合；所述機(jī)架板上設(shè)置有第三氣缸，第三氣缸設(shè)置有輸出桿，支撐桿的端部與第三氣缸的輸出桿相配合，由第三氣缸的輸出桿驅(qū)動(dòng)支撐桿靠近或遠(yuǎn)離固定桿，以調(diào)節(jié)狹縫的大小。

19.根據(jù)權(quán)利要求10所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述機(jī)架板上還設(shè)置有第二橫桿，第二橫桿上設(shè)置有可沿薄膜寬度方向移動(dòng)的刀架，刀架下端設(shè)置有切割刀。

20.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，所述機(jī)架板與絲桿螺紋配合，所述絲桿與電機(jī)主軸連接，由電機(jī)主軸驅(qū)動(dòng)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)。

21.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的節(jié)省膠膜的貼膜裝置，其特征在于，還包括導(dǎo)軌，所述的機(jī)架板下端設(shè)置有導(dǎo)向槽；導(dǎo)向槽與導(dǎo)軌相配合。