[發明專利]采用氣體散射方式在柔性物質表面蒸鍍金屬薄膜的方法無效
| 申請號： | 201010505416.0 | 申請日： | 2010-10-11 |
| 公開（公告）號： | CN101956160A | 公開（公告）日： | 2011-01-26 |
| 發明（設計）人： | 吳鏑;王申;林立;師玉軍;岳風娟;都有為 | 申請（專利權）人： | 南京大學 |
| 主分類號： | C23C14/20 | 分類號： | C23C14/20;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210093*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 采用 氣體 散射 方式 柔性 物質 表面 鍍金 薄膜 方法 | ||
【權利要求書】：
1.采用氣體散射方式在柔性物質表面蒸鍍金屬薄膜的方法，其特征在于：所述方法包括如下步驟：
(1)處理金屬，使金屬原子進入氣相；
(2)降低進入氣相的金屬原子的動能；
(3)將步驟(2)中獲得的金屬原子沉積在柔性物質表面，形成金屬薄膜。
2.根據權利要求1所述的采用氣體散射方式在柔性物質表面蒸鍍金屬薄膜的方法，其特征在于：所述步驟(1)中使用加熱液化蒸發或加熱升華方法將使金屬原子進入氣相。
3.根據權利要求1所述的采用氣體散射方式在柔性物質表面蒸鍍金屬薄膜的方法，其特征在于：所述步驟(2)中通過將進入氣相的金屬原子置于惰性氣體中，通過散射作用，降低金屬原子的平均動能至所述惰性氣體原子的平均動能。
4.根據權利要求3所述的采用氣體散射方式在柔性物質表面蒸鍍金屬薄膜的方法，其特征在于：所述惰性氣體為氬氣或者氪氣。
5.根據權利要求1所述的采用氣體散射方式在柔性物質表面蒸鍍金屬薄膜的方法，其特征在于：所述步驟(3)中有機物表面溫度在室溫以下。
6.根據權利要求1所述的采用氣體散射方式在柔性物質表面蒸鍍金屬薄膜的方法，其特征在于：所述柔性物質為柔性有機物。
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