[發明專利]單頻激光偏振干涉儀在線調試裝置及方法

有效

• 申請號: 201010296976.X
• 申請日: 2010-09-29
• 公開（公告）號: CN101995211A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 楊軍;苑勇貴;李立艷;吳冰;劉彬彬;苑立波
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工程大學
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種單頻激光偏振干涉儀在線調試裝置，其特征是：由置于氣浮隔振平臺(9)上的穩頻激光器(1)、光隔離器(2)、偏振態旋轉機構(3)、待測單頻激光偏振干涉儀(4)、光學透射反射機構(51、52)、光功率計(61、62)、多路正交干涉信號探測器(71～74)、干涉信號采集與分析系統(8)、氣浮隔振光學平臺(9)組成；由穩頻激光器(1)發出偏振光經光隔離器(2)后變成一束高偏振穩定度的信號光，經偏振態旋轉機構(3)后，進入待測激光干涉儀(4)；信號光被干涉儀(4)分成兩束(41、43)，兩束光(41、43)分別經過垂直于光束傳輸方向的光學透射反射機構(51、52)后，透射光(42、44)分別進入其后的光功率計(61、62)，反射光沿原路返回干涉儀(4)，從干涉儀(4)各端口(Port3～Port6)輸出的干涉信號光(45～47)分別被多路正交干涉信號探測器(71～74)接收后，形成正交干涉信號，被送入干涉信號采集與分析系統(8)對干涉信號的直、交流幅值和干涉相位進行分析，給出干涉儀的測量性能與光路非線性誤差參數。

2.根據權利要求1所述的單頻激光偏振干涉儀在線調試裝置，其特征是：所述的穩頻激光器(1)的波長采用波長為632.8nm的He-Ne激光，頻率穩定度大于10-7，光強波動小于0.5％，光斑直徑小于1mm，具有高度調節和水平垂直角度偏擺調節功能。

3.根據權利要求2所述的單頻激光偏振干涉儀在線調試裝置，其特征是：所述的光隔離器(2)包含起偏棱鏡(201、203)和Faraday旋轉器(202)，具有單向傳輸特性，對輸入光源進行起偏。

4.根據權利要求3所述的單頻激光偏振干涉儀在線調試裝置，其特征是：所述的偏振態旋轉機構(3)實現對入射光偏振態0～360°的旋轉。

5.根據權利要求4所述的單頻激光偏振干涉儀在線調試裝置，其特征是：所述的光學透射反射機構(51、52)包含一個位置可調的透反射鏡(501)安放在一個可以發生微小位移和振動信號的振動臺(502)上；透反射鏡將垂直于鏡面的入射光分成兩束，一束透射，一束反射，透射光和反射光的功率比值b為1％≤b≤50％；振動臺發生位移的振幅為納米到微米范圍，振動頻率為DC～1kHz。

6.根據權利要求5所述的單頻激光偏振干涉儀在線調試裝置，其特征是：所述的多路正交干涉信號探測器(71～74)由四個探測波長范圍與穩頻激光相匹配的光電探測器組成，對干涉信號的交直流幅值和干涉相位進行采集和測量，信噪比大于80dB。

7.根據權利要求6所述的單頻激光偏振干涉儀在線調試裝置，其特征是所述的干涉信號采集與分析系統(8)是：光功率計(61、62)和多路正交干涉信號探測器(71～74)的采集信號，通過信號通道(81)送入到系統(8)，實現對干涉信號直流幅度、交流幅度、對比度、干涉相位、四路干涉信號的非正交相移參數的解算和分析。