[發(fā)明專利]流體儲存和分配系統(tǒng)以及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010281391.0
• 申請日: 2006-06-05
• 公開（公告）號: CN102101634A
• 公開（公告）日: 2011-06-22
• 發(fā)明（設計）人: 約翰·R·金格里;丹尼斯·布雷斯托萬斯基;凱文·T·奧多爾蒂;格倫·M·湯姆;柯克·米克爾森;馬修·史密斯;唐納德·D·韋爾;格雷格·納爾遜;羅伯特·哈帕拉;魯塞爾·奧貝格;蒂姆·霍伊特;賈森·杰羅爾德;凱文·內斯達爾;約翰·揚切克
• 申請（專利權）人: 高級技術材料公司;東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: B67D99/00
• 分類號: B67D99/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種分配探針，與含有襯件的包裝的總高度相比，所述探針具有較短的長度，包括所述探針的分配組件與所述包裝相關，其中所述分配探針具有在所述分配組件與所述包裝接合時使所述分配探針的底部入口位于所述襯件的上端部位置的縱向尺寸，并且所述探針適于將處理材料輸送到處理系統(tǒng)。

2.根據權利要求1所述的分配探針，布置成在從所述襯件的內容積分配液體之前允許從所述襯件的內容積抽出氣體。

3.一種流體儲存和分配包裝，包括含有可擠壓襯件的容器，并且一分配組件接合至所述流體儲存和分配容器，所述分配組件包括根據權利要求1或2中任一項所述的分配探針。

4.根據權利要求3所述的流體儲存和分配包裝，包括加壓氣體入口，所述加壓氣體入口適于允許加壓氣體流入到所述容器中，以向所述襯件的外部施加壓力，從而以壓力為媒介分配襯件的內容物。

5.根據權利要求3所述的流體儲存和分配包裝，在所述可擠壓襯件內以最小頂部空間狀態(tài)含有流體。

6.一種連接件，適于與包括可擠壓襯件的流體儲存和分配包裝相連接，所述連接件包括探針，所述探針包括布置成位于所述襯件的內容積上部內的開口，其中所述探針適于將處理材料輸送到處理系統(tǒng)。

7.根據權利要求6所述的連接件，可與用于將加壓氣體輸送到所述包裝內的氣體源相連接，以在所述襯件上施加壓力，以便以壓力為媒介從所述襯件分配流體。

8.根據權利要求6所述的連接件，其中，所述探針與用于從所述襯件的內容積排放氣體的排放口流體連通。

9.根據權利要求7所述的連接件，其中，所述探針布置成在從所述襯件的內容積分配液體之前允許從所述襯件的內容積抽出氣體。

10.根據權利要求6所述的連接件，其中，所述探針是具有末端的短粗探針，所述末端設置于所述襯件的內容積上部中。

11.根據權利要求6所述的連接件，其中，所述連接件包括第一鍵碼結構，所述第一鍵碼結構布置成和與蓋相關的第二鍵碼結構互補配合，以便確認所述連接件與所述蓋的正確接合。

12.一種流體儲存和分配包裝，包括基本上剛性的外容器、設置在所述外容器內的可擠壓襯件、以及根據權利要求6-11中任一項所述的連接件。

13.根據權利要求12所述的流體儲存和分配包裝，在所述可擠壓襯件內以最小頂部空間狀態(tài)含有液體試劑。

14.根據權利要求12所述的流體儲存和分配包裝，進一步包括裝配于所述容器的蓋，其中所述蓋包括適于在所述蓋與所述容器的初始接合之后使得所述蓋不可再次使用的不可再次使用結構。

15.根據權利要求12所述的流體儲存和分配包裝，與用于將加壓氣體輸送到所述包裝內的加壓氣體源相連接，以在所述襯件上施加壓力，以便以壓力為媒介從所述襯件分配流體。

16.一種處理系統(tǒng)，包括：

流體利用設備；

根據權利要求12-15中任一項所述的流體儲存和分配包裝；以及

連接至所述連接件并連接至所述流體利用設備的流動線路。

17.根據權利要求16所述的處理系統(tǒng)，其中，所述流體利用設備包括適于制造半導體或微電子器件產品的工具。

18.一種制造半導體或微電子產品的方法，包括流體試劑的使用，以及從包括容納有流體試劑的襯件的流體儲存和分配包裝向用于制造半導體或微電子器件的處理工具供應所述流體試劑，其中：

所述流體儲存和分配包裝包括連接件，所述連接件具有探針，所述探針包括布置成位于所述襯件的內容積上部內的開口，并且所述流體試劑通過所述探針分配；

所述襯件承受施加在其上的外部壓力，以便在所述供應期間進行所述流體試劑的壓力分配；并且

在所述流體試劑的壓力分配期間，所述襯件保持在零或接近零的頂部空間狀態(tài)。

19.根據權利要求18所述的方法，其中，所述壓力分配通過在所述襯件上施加壓力以將其逐漸壓緊來實現。