[發明專利]一種光滑反射表面的合成孔徑數字全息三維顯微觀測裝置

無效

• 申請號: 201010280758.7
• 申請日: 2010-09-14
• 公開（公告）號: CN102278952A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 肖文;潘鋒;王璠璟;伊小素;劉爍;戎路
• 申請（專利權）人: 北京航空航天大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B9/023
• 代理公司: 北京永創新實專利事務所 11121
• 代理人: 李有浩

1.一種光滑反射表面的合成孔徑數字全息三維顯微觀測裝置，包括有光源(1)、CMOS相機(11)，其特征在于：還包括有分光單元(2)、第一空間濾波器(3)、第一平凸透鏡(4)、第三平面反射鏡(5)、光束調整器(6)、旋轉載物臺(7)、第二空間濾波器(8)、第二平凸透鏡(9)、消偏振分光棱鏡(10)；其中，第一空間濾波器(3)與第二空間濾波器(8)的結構相同；第一平凸透鏡(4)與第二平凸透鏡(9)的結構相同；

所述合成孔徑數字全息三維顯微觀測裝置的光路連接為：光源(1)出射的激光(1a)通過分光單元(2)分別輸出照明光(21)和參考光(22)；

照明光(21)順次經過第一空間濾波器(3)、第一平凸透鏡(4)和第三平面反射鏡(5)后，輸出平行照明光(5a)入射至消偏振分光棱鏡(10)上；

參考光(22)順次經過第二空間濾波器(8)、第二平凸透鏡(9)和光束調整器(6)后，輸出調節后參考平行光(6a)入射至消偏振分光棱鏡(10)上；

平行照明光(5a)入射至消偏振分光棱鏡(10)的透射部分(10a)對放置于旋轉載物臺(7)上的觀測目標進行照明，被測表面反射的物光(11a)入射至消偏振分光棱鏡(10)上；

物光(11a)入射至消偏振分光棱鏡(10)的反射部分與調節后參考平行光(6a)入射至消偏振分光棱鏡(10)的透射部分匯合為合成光束(10b)，該光束形成全息干涉圖，并由CMOS相機(11)的光敏面進行接收記錄。

2.根據權利要求1所述的光滑反射表面的合成孔徑數字全息三維顯微觀測裝置，其特征在于：分光單元(2)包含有A半波片(201)、偏振分光棱鏡(202)、B半波片(203)、連續可調衰減器(204)；其中，A半波片(201)與B半波片(203)的結構相同；分光單元(2)一方面用于接收從光源(1)出射的激光(1a)，另一方面將接收到的激光(1a)分為傳播方向垂直、偏振方向相同的照明光(21)和參考光(22)；B半波片(203)放置于偏振分光棱鏡(202)和連續可調衰減器(204)之間；其中，A半波片(201)用于將光源發射的激光(1a)進行偏振方向的調整，對照明光(21)和參考光(22)的光強比進行初步調節；而B半波片(203)用于將經偏振分光棱鏡(202)反射的激光進行偏振方向的調整，從而保證照明光(21)和參考光(22)的偏振方向相同；同時通過調節連續可調衰減器(204)進一步調節照明光(21)和參考光(22)的光強比，進而控制平行參考光(10a)和由待測物面反射的具有表面形貌信息的物光(11a)的光強比。