[發明專利]激光加工裝置及加工條件的決定方法

有效

• 申請號: 201010276110.2
• 申請日: 2010-09-07
• 公開（公告）號: CN102009269B
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 田中研太;石原裕
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: B23K26/04
• 分類號: B23K26/04
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種激光加工裝置，其特征在于，具有：

激光光源，通過觸發信號的接收出射脈沖激光束；

載物臺，保持加工對象物；

偏轉器，配置在從所述激光光源出射的脈沖激光束的路徑內，若收到 使脈沖激光束的入射位置移動的移動指令信號，則在保持于所述載物臺的 加工對象物的表面，使脈沖激光束的入射位置移動至所指令的移動目的地 處，若入射位置的移動結束，則發送移動結束信號；

開關元件，切換從所述激光光源出射的脈沖激光束入射到所述偏轉器 的打開狀態和不入射到所述偏轉器的關閉狀態；以及

控制裝置，控制所述激光光源、所述偏轉器及所述開關元件，

所述控制裝置，

包含存儲部，所述存儲部存儲應使激光束入射的多個加工點的位置信 息、入射順序及發送所述觸發信號的頻率信息，

根據存儲于所述存儲部的頻率信息，以固定的重復頻率向所述激光光 源發送觸發信號，

向所述偏轉器發送使脈沖激光束的入射位置移動至下一個加工點的移 動指令信號，

向所述偏轉器發送移動指令信號之后，在從所述偏轉器接收移動結束 信號之前，不將所述開關元件設為打開狀態，從所述偏轉器接收移動結束 信號之后，同步于所述觸發信號來將所述開關元件切換成打開狀態。

2.如權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述控制裝置的存儲部存儲將所述開關元件設為打開狀態的時間寬 度，所述控制裝置在將所述開關元件切換成打開狀態之后，在經過了存儲 于所述存儲部的時間寬度的時刻，將所述開關元件恢復到關閉狀態，

在將所述開關元件恢復到關閉狀態之后，向所述偏轉器發送使脈沖激 光束的入射位置移動至下一個加工點的移動指令信號。

3.一種加工條件的決定方法，所述加工條件的決定方法決定利用激光 加工裝置進行激光加工時的加工條件，所述激光加工裝置具有：

激光光源，通過觸發信號的接收出射脈沖激光束；

載物臺，保持加工對象物；

偏轉器，配置在從所述激光光源出射的脈沖激光束的路徑內，若收到 使脈沖激光束的入射位置移動的移動指令信號，則在保持于所述載物臺的 加工對象物的表面，使脈沖激光束的入射位置移動至所指令的移動目的地 處，若入射位置的移動結束，則發送移動結束信號；

開關元件，切換從所述激光光源出射的脈沖激光束入射到所述偏轉器 的打開狀態和不入射到所述偏轉器的關閉狀態；以及

控制裝置，控制所述激光光源、所述偏轉器及所述開關元件，

所述控制裝置，

包含存儲部，所述存儲部存儲應使激光束入射的多個加工點的位置信 息、入射順序及發送所述觸發信號的頻率信息，

根據存儲于所述存儲部的頻率信息，以固定的重復頻率向所述激光光 源發送觸發信號，

向所述偏轉器發送使脈沖激光束的入射位置移動至下一個加工點的移 動指令信號，

向所述偏轉器發送移動指令信號之后，在從所述偏轉器接收移動結束 信號之前，不將所述開關元件設為打開狀態，從所述偏轉器接收移動結束 信號之后，同步于所述觸發信號來將所述開關元件切換成打開狀態，

其特征在于，該決定方法具有：

以所述觸發信號的頻率信息不同而加工點的位置信息及入射順序共同 的多個加工條件中的每一個加工條件，控制所述偏轉器及開關元件，使脈 沖激光束的入射位置移動，并且計測掃描所有加工點的掃描時間的工序； 以及

根據所述掃描時間決定所述觸發信號的適宜的頻率的工序。

4.如權利要求3所述的加工條件的決定方法，其特征在于，

在計測所述掃描時間的工序中，即使向所述激光光源發送所述觸發信 號，也以不從該激光光源出射脈沖激光束的狀態控制所述偏轉器及開關元 件。

5.一種激光加工裝置，其特征在于，具有：

激光光源，出射脈沖激光束；

載物臺，保持加工對象物；

偏轉器，偏轉從所述激光光源出射的脈沖激光束；

照射切換機構，切換從所述激光光源出射的脈沖激光束的向所述加工 對象物的照射狀態和非照射狀態；以及

控制裝置，控制所述激光光源、所述偏轉器及所述照射切換機構，

所述控制裝置，

向所述偏轉器發送使所述脈沖激光束的入射位置移動的移動指令信 號，

不依賴于所述偏轉器的移動位置地使所述激光光源以固定的重復頻率 向所述加工對象物射出所述脈沖激光束，

在從所述偏轉器接收移動結束信號之前，通過所述照射切換機構將所 述脈沖激光束設為向所述加工對象物的非照射狀態，

從所述偏轉器接收移動結束信號之后，通過所述照射切換機構將向所 述加工對象物的所述脈沖激光束設為照射狀態。