[發明專利]一種芯片拾取轉運裝置及其運轉方法

無效

• 申請號: 201010267363.3
• 申請日: 2010-08-28
• 公開（公告）號: CN101976653A
• 公開（公告）日: 2011-02-16
• 發明（設計）人: 王云峰
• 申請（專利權）人: 大連佳峰電子有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種芯片拾取轉運裝置，包括殼體(1)、伺服電機(5、6)、皮帶聯動器(7)、向心軸承(13、14)、連軸節(12)、感應輪(8、9)、傳感器(10、11)、控制開關(4)以及拾取裝置，所述的拾取裝置包括了拾取臂(3)和拾取觸腳(17)，其特征在于：還包括一個八頭轉運裝置，所述的八頭轉運裝置是八個拾取觸腳(15)固定在中間轉輪(2)上，觸腳(15)之間的夾角都為45°角，每個觸腳(15)都可以與所述的拾取裝置的觸腳(17)相接觸。

2.根據權力要求1所述的一種芯片拾取轉運裝置，其特征在于：在所述殼體(1)內上伺服電機(5)通過皮帶聯動器(7)連接向心軸承(13)，所述向心軸承(13)連接殼體(1)外側的八頭轉運裝置的中間轉輪(2)，下伺服電機(14)通過連軸節(12)連接另一個向心軸承(14)，所述向心軸承(14)連接殼體(1)外側的拾取裝置的拾取臂(3)。

3.根據權力要求1所述的一種芯片拾取轉運裝置，其特征在于：所述的八頭轉運裝置的觸頭(15)為中空結構，內部連接氣管，氣管連接真空泵。

4.根據權力要求1所述的一種芯片拾取轉運裝置，其特征在于：所述的拾取裝置的觸頭(17)為中空結構，內部連接氣管，氣管連接真空泵。

5.根據權力要求1所述的一種芯片拾取轉運裝置，其特征在于：所述的向心軸承(13)上還有一個感應輪(8)，所述的感應輪與一個傳感器(10)相連。

6.根據權力要求1所述的一種芯片拾取轉運裝置，其特征在于：所述連軸節(12)與另一個向心軸承(14)之間設有另一個感應輪(9)，該感應輪(9)與另一個感應器(11)連接。

7.根據權力要求1所述的一種芯片拾取轉運裝置，其特征在于：控制開關(4)有九對，設置在殼體(1)的另一側。

8.一種芯片拾取轉運裝置的運轉方法，其特征在于：

首先，利用八頭轉運裝置上的向心軸承(13)上的感應輪(8)和傳感器(10)確定中間轉輪(2)的初始位置，即觸腳b和觸腳f為水平軸，觸腳d和觸腳h為縱軸，觸腳a在觸腳b和觸腳h的位置，a點位置為芯片的交接點，f點位置為芯片安裝點。?

然后，中間轉輪按照下列順序循環工作：

步驟??交接點????安裝點???動作???????????旋轉方向

1?????a?????????f????????a取片??????????順時針90°

2?????c?????????h????????c取片??????????順時針90°

3?????e?????????b????????e取片??????????順時針90°

4?????g?????????d????????g取片??????????逆時針45°

5?????f?????????c????????f取片/c裝片????逆時針90°

6?????d?????????a????????d取片/a裝片????逆時針90°

7?????b?????????g????????b取片/g裝片????逆時針90°

8?????h?????????e????????h取片/e裝片????順時針45°

9?????a?????????f????????a取片/f裝片????順時針90°

10????c?????????h????????c取片/h裝片????順時針90°

11????e?????????b????????e取片/b裝片????順時針90°

12????g?????????d????????g取片/d裝片????逆時針45°

從步驟12開始，重復步驟5至步驟12的循環，即逆時針90°+90°+90-45°再順時針90°+90°+90°-45°的循環運行。

同時，控制開關中的八對分別控制八頭轉運裝置的觸腳a、b、c、d、e、f、g、h的“真空”和“破壞真空”狀態進行取片和裝片，另一個對控制拾取轉運裝置的觸腳的“真空”和“破壞真空”狀態進行拾取和轉移。?