[發明專利]一種熱障涂層ZrO2低導熱石英管的制備方法無效
| 申請號: | 201010244734.6 | 申請日: | 2010-08-04 |
| 公開(公告)號: | CN102344255A | 公開(公告)日: | 2012-02-08 |
| 發明(設計)人: | 劉松 | 申請(專利權)人: | 劉松 |
| 主分類號: | C03C17/23 | 分類號: | C03C17/23;C03B20/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 222000 江蘇省連*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 熱障 涂層 zro sub 導熱 石英管 制備 方法 | ||
1.一種熱障涂層ZrO2低導熱石英管的制備方法,其特征在于實施步驟:
1)將60∽120目的高純度石英原料(sio2≥99.999%)投入連熔爐塢坩堝內;
2)通電熔融的石英料液在鎢坩堝內經過2200∽2500℃的溫熱沉淀,通過排氣孔排出氣體雜質和液體雜質后,將料液進行成型;
3)在成型石英管的下料口處1250℃時,通過噴涂設備在成型石英管外表面連續高溫熱噴涂ZrO2粉體,使成型石英管的外表面形成ZrO2涂層;
4)熱噴涂ZrO2石英管,經過變頻控制的牽引機向下拉制成型,得到直徑為180∽330mm的大口徑熱障涂層ZrO2低導熱石英管。
2.根據權利要求1所述的熱障涂層ZrO2低導熱石英管的制備方法,其特征在于:其實施步驟(2)中將料液成型的方法為料液流經連熔爐內的成型器進行成型。
3.根據權利要求2所述的熱障涂層ZrO2低導熱石英管的制備方法,其特征在于:其實施步驟(2)中將料液成型的連熔爐內的成型器芯桿的直徑為380∽400mm,成型器料臺的直徑為420∽435mm。
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