[發明專利]電路圖案檢查裝置

有效

• 申請號: 201010243928.4
• 申請日: 2010-08-02
• 公開（公告）號: CN101995545A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 羽森寬;坂和正敏;加藤浩介
• 申請（專利權）人: OHT株式會社
• 主分類號: G01R31/302
• 分類號: G01R31/302;G01R31/28
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

技術領域

本發明涉及一種采用非接觸方式能夠檢查形成于基板上的導電圖案的缺陷的電路圖案檢查裝置。

背景技術

最近，顯示裝置以在玻璃基板上使用液晶的液晶顯示裝置、或者利用等離子的等離子顯示裝置為主。在這些顯示裝置的制造工序中，對形成于玻璃基板上的作為電路配線的導電圖案進行有無斷線和短路不良的檢查。

作為過去常用的導電圖案的檢查方法，例如：如專利文獻1中記載的那樣，已知有如下的接觸式檢查方法(插針式觸點方式)：其中，使檢查探針的針頭接觸導電圖案的兩端，從一側的檢查探針施加直流檢測信號，檢測從另一側的檢查探針傳輸出的直流檢查信號，通過有無檢測信號來檢查有無斷線和短路。

作為其他檢查方法，在專利文獻2中，使至少兩個檢查探針接近導體圖案，在采用與導體圖案非接觸的方式進行電容耦合的狀態下使其移動的同時，從一側的檢查探針施加交流檢查信號，通過另一側的檢查探針檢測傳輸于導體圖案的交流檢查信號。通過檢測信號的波形變化，進行導電圖案中有無斷線和短路的檢查。

專利文獻1：日本特開昭62-269075號公報

專利文獻2：日本特開2004-191381號公報

發明內容

(發明要解決的問題)

隨著追求顯示畫面的大畫面化，上述的顯示裝置的畫面尺寸更大型化，同時要求顯示畫面的致密度，力求顯示像素的微細化。因此，顯示像素的驅動用配線或信號線等導電圖案變長的同時，被微細化。

在對多個導電圖案進行檢查時，在由專利文獻1所提案的使針頭尖接觸的檢查探針中，作為第一方法，以橫穿排列的導電圖案上的方式使檢查探針滑行移動，順次進行檢查。或者作為第二方法，配備與導電圖案數相同數的檢查探針，使檢查探針統一接觸，或者作為第三方法，使檢查探針上下移動的同時，以選擇性地與導電圖案接觸的方式使其移動。

在使檢查探針滑行移動時，因為在針頭尖接觸導電圖案的狀態下移動，所以造成由剝落或傷痕所形成的損壞的問題。此外，即使檢查探針不滑動而接觸導電圖案，也造成因為針頭尖的接觸而向導電圖案加壓所形成的傷痕等損壞問題。此外，在使用程序等力求檢查探針的接觸動作和移動自動化的情況下，隨著導電圖案的細線化和配線間隔的微小化的進展，位置控制變得愈發不容易。

此外，在采用通過非接觸方式與導電圖案進行電容耦合的電極的檢查裝置中，隨著與電極相對向的導電圖案的表面積的縮小的進展，檢測出的檢查信號值也變小。當增大導電圖案的檢查信號值時，檢測出的檢查信號也變大，但是，隨著導電圖案的微細化，可以容許的檢查信號值也變小。此外，在檢測信號中，除檢查信號外檢測出包含來自外部的被重疊的噪聲。因此，對判斷檢查信號是否為噪聲需要熟練程度，或者在進行計算機判斷時，基準值的設定變得困難。

此外，當對檢查對象基板，使用一個傳感器部并使其移動進行檢查時，得到一個檢測信號。在僅由一個檢測信號進行判斷時，雖然通過嚴格設定閾值，能夠從微小的信號變化中判斷有無缺陷，但是，因為同時也對檢測信號中可能包含的噪聲成分也作為判斷對象，所以得到的判斷結果不能確定是否僅為真的缺陷。因此，再次以相同條件實施第二次的檢查，將得到的第二次檢查結果與第一次的檢查結果進行比較，進行缺陷的確定。因此，為了得到正確的檢查結果，以相同的檢查條件對同一檢查對象必須進行至少兩次檢查。在該檢查方法中，為了得到正確的檢查結果，因為花費進行兩次檢查的時間，所以，不易縮短檢查時間。再有，當第一次的檢查和第二次的檢查之間空有時間時，以相同的條件進行檢查不易做到。

因此，本發明的目的在于提供一種電路圖案檢查裝置，該電路圖案檢查裝置對排列于基板上的各導電圖案以時間序列的方式采用多組傳感器進行多次檢測，生成將這些檢測信號進行乘積運算的判斷信號，來實現導電圖案好壞的適當判斷。

(解決技術問題的技術方案)