[發明專利]電路圖案檢查裝置

有效

• 申請號: 201010243928.4
• 申請日: 2010-08-02
• 公開（公告）號: CN101995545A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 羽森寬;坂和正敏;加藤浩介
• 申請（專利權）人: OHT株式會社
• 主分類號: G01R31/302
• 分類號: G01R31/302;G01R31/28
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

1.一種電路圖案檢查裝置，將多個導電圖案形成直列狀的基板作為檢查對象，所述電路圖案檢查裝置的特征在于包括：

第1傳感器對，該第1傳感器對具備與所述導電圖案中的第一導電圖案同時相對向的第一供電電極和第一傳感電極；

第2傳感器對，該第2傳感器對具備與從所述第一導電圖案間隔預先設定的圖案數目的距離的第二導電圖案同時相對向的第二供電電極和第二傳感電極；

移動部，該移動部保持所述第1傳感器對和所述第2傳感器對，在所述導電圖案的上方以一定的距離分開，并且以與該導電圖案的直列相交叉的方式進行移動；

檢查信號供給部，該檢查信號供給部在利用所述移動部的所述第1傳感器對和所述第2傳感器對的移動中，供給所述第一供電電極和所述第二供電電極由交流信號構成的同一檢查信號，將該檢查信號順次施加于與所述第一供電電極和所述第二供電電極相對向、并且進行電容耦合的各個導電圖案；

檢查信號處理部，該檢查信號處理部將預先設定的判斷基準值，與通過分別與施加所述檢查信號的所述導電圖案進行電容耦合的所述第一傳感電極和所述第二傳感電極獲得的第一檢測信號和第二檢測信號進行比較，從而選出缺陷候補，進而，以在所述第一檢測信號上和所述第二檢測信號上的導電圖案的位置一致的方式進行使任一檢測信號的位置移動的距離軸匹配；以及

缺陷判斷部，該缺陷判斷部將所述導電圖案的位置一致的所述第一檢測信號和所述第二檢測信號中的所述缺陷候補彼此進行比較，將在相同圖案位置上共通存在的缺陷候補判斷為所述導電圖案的真缺陷。

2.根據權利要求1所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于：

所述檢查信號處理部除了所述距離軸匹配部，還包括：

差值算出部，該差值算出部以任意間隔從所述檢測信號中抽取信號值，通過以時間序列的方式與之前的信號值的差分，生成各個差分信號；以及

微小變化增強部，該微小變化增強部將所述差分信號相乘，生成更加增強包含在該差分信號中的信號的局部變化的乘積信號。

3.根據權利要求1所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于：

在所述電路圖案檢查裝置中，

所述第1傳感器對具有第一噪聲電極，該第一噪聲電極在從所述第一傳感電極間隔任意圖案數目的第三導電圖案的上方分開配置；并且

所述第2傳感器對具有第二噪聲電極，該第二噪聲電極在從所述第二傳感電極間隔任意圖案數目的第四導電圖案的上方分開配置。

4.根據權利要求2所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于：

在所述電路圖案檢查裝置中，

所述缺陷判斷部在通過所述距離軸匹配部使所述第一檢測信號和所述第二檢測信號的檢測時刻同步時，將所述檢測信號的局部變化與基于所述移動部的移動速度決定的所述導電圖案的形成位置進行對照，決定存在缺陷的導電圖案。

5.一種電路圖案檢查裝置的檢查方法，為具備檢查部的電路圖案檢查裝置的檢查方法，該檢查部將多個導電圖案形成直列狀的基板作為檢查對象，由在與用于檢測存在缺陷的導電圖案的所述導電圖案的直列相交叉的方向上空開規定的圖案數目的距離而并排設置的至少兩組供電電極和一對傳感電極所構成，所述電路圖案檢查裝置的檢查方法的特征在于：

使所述檢查部沿與所述直列交叉的方向移動，并通過電容耦合從各個所述供電電極對彼此分開的不同的導電圖案順次施加由交流信號構成的同一檢查信號，

通過對傳輸于施加了所述檢查信號的各個所述導電圖案的所述檢查信號進行電容耦合，分別從所述傳感電極獲得第一檢測信號和第二檢測信號，

將預先設定的判斷基準值與所述第一檢測信號和第二檢測信號進行比較，從而選出缺陷候補，

以在所述第一檢測信號上和所述第二檢測信號上的導電圖案的位置一致的方式，使任一檢測信號的位置移動而得到距離軸匹配，

將所述導電圖案的位置一致的所述第一檢測信號和所述第二檢測信號中的所述缺陷候補彼此進行比較，將在相同圖案位置上共通存在的缺陷候補判斷為所述導電圖案的真缺陷。

6.根據權利要求5所述的電路圖案檢查裝置的檢查方法，其特征在于：

以任意間隔從同步的所述多個檢測信號中抽取信號值，通過以時間序列的方式與之前的信號值的差分，生成各個差分信號，

將所述差分信號相乘，生成更加增強包含在該差分信號中的信號的局部變化的乘積信號。