[發(fā)明專利]基于氧化鋁薄膜與聚合物聯(lián)合作用的電熱微驅(qū)動(dòng)器無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201010243115.5 | 申請(qǐng)日： | 2010-08-05 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101905851A | 公開（公告）日： | 2010-12-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張叢春;王娟;吳義伯;侯捷;錢群 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海交通大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | B81B3/00 | 分類號(hào)： | B81B3/00;F03G7/06 |
| 代理公司： | 上海交達(dá)專利事務(wù)所 31201 | 代理人： | 王錫麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 氧化鋁 薄膜 聚合物 聯(lián)合 作用 電熱 驅(qū)動(dòng)器 | ||
1.一種基于氧化鋁薄膜與聚合物聯(lián)合作用的電熱微驅(qū)動(dòng)器，包括：熱基座、氧化鋁結(jié)構(gòu)層、鎳電阻絲發(fā)熱層和聚合物功能輔助層，其特征在于：鎳電阻絲發(fā)熱層、氧化鋁結(jié)構(gòu)層和熱基座依次由上而下設(shè)置，所述的氧化鋁結(jié)構(gòu)層為重疊部和懸臂梁部構(gòu)成的T字型結(jié)構(gòu)，聚合物功能輔助層覆蓋于氧化鋁結(jié)構(gòu)層的懸臂梁部的外部并包裹鎳電阻絲發(fā)熱層，驅(qū)動(dòng)電壓施加于鎳電阻絲發(fā)熱層的懸臂梁部上。
2.權(quán)利要求1所述的基于氧化鋁薄膜與聚合物聯(lián)合作用的電熱微驅(qū)動(dòng)器，其特征是，所述的熱基座的長度為500μm-3000μm，寬度為300μm-1500μm，厚度為10μm-50μm。
3.權(quán)利要求1所述的基于氧化鋁薄膜與聚合物聯(lián)合作用的電熱微驅(qū)動(dòng)器，其特征是，所述的氧化鋁結(jié)構(gòu)層的中間為重疊部，該重疊部與熱基座重疊設(shè)置，所述懸臂梁部的長度為300μm-1000μm，寬度為100μm-600μm，厚度為1μm-20μm。
4.權(quán)利要求1或3所述的基于氧化鋁薄膜與聚合物聯(lián)合作用的電熱微驅(qū)動(dòng)器，其特征是，所述的懸臂梁部上設(shè)有若干個(gè)方洞陣列，其中的方洞的邊長為10μm-50μm。
5.權(quán)利要求1所述的基于氧化鋁薄膜與聚合物聯(lián)合作用的電熱微驅(qū)動(dòng)器，其特征是，所述的鎳電阻絲發(fā)熱層內(nèi)設(shè)有若干呈柵狀排列的電阻絲。
6.權(quán)利要求5所述的基于氧化鋁薄膜與聚合物聯(lián)合作用的電熱微驅(qū)動(dòng)器，其特征是，所述的柵狀排列為首尾相聯(lián)的不等間距排布。
7.權(quán)利要求5所述的基于氧化鋁薄膜與聚合物聯(lián)合作用的電熱微驅(qū)動(dòng)器，其特征是，所述的電阻絲的截面邊長為1μm-20μm×1μm-20μm，每兩根相鄰電阻絲的間距為5μm-50μm。
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