[發明專利]一種注入機用晶片缺口定位裝置

有效

• 申請號: 201010243033.0
• 申請日: 2010-08-02
• 公開（公告）號: CN102347224A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發明（設計）人: 伍三忠;唐景庭;孫勇;袁衛華
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/265
• 分類號: H01L21/265;H01J37/317
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一晶片缺口定位裝置，由一個缺口標準晶片，一個旋轉托盤，一根旋轉軸，一個紅外光的LED發光光源組件，一個檢測紅外光光強的傳感器，一個遮光罩，一個安裝支撐座一個定位驅動皮帶和兩個驅動輪，一個帶高精度編碼的直流伺服電機組成。其中所述的晶片標準缺口的是符合國際SEMI標準規定。

2.如權利要求1所述的一個紅外光的LED發光光源組件采用的是平鋪式的陣列，既一個板上裝有兩排紅外發射LED燈。由于LED二極管燈具有一定角度發散角，板上只留小片區域出射光束，余下地方涂上反射紅外的涂料，出射光束是均勻光幕。

3.如權利要求1所述的檢測紅外光光強的傳感器是市場采購的高精度的傳感器，其核心是高分辨率的一個紅外接收管(光敏二極管)安裝在供電PCB板上。紅外發射LED燈產生的紅外光會通過傳感器感應接收，如果傳感器和LED二極管有晶片，則其接收光強會減弱，晶片標準缺口轉過光幕區域時，光強就又瞬間增強，形成定位機制。