[發明專利]電渦流金屬膜厚度終點檢測裝置

有效

• 申請號: 201010236186.2
• 申請日: 2010-07-26
• 公開（公告）號: CN102049733A
• 公開（公告）日: 2011-05-11
• 發明（設計）人: 孟永鋼;曲子濂;樂承寧;趙德文;趙乾;路新春
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: B24B49/10
• 分類號: B24B49/10
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 邸更巖

1.一種電渦流金屬膜厚度終點檢測裝置，其特征在于：該裝置包括電渦流傳感器、多頻信號發生器、導電滑環、導電定環、前置電路以及含有數據處理與控制程序的計算控制單元；所述的電渦流傳感器安裝在拋光機的拋光臺內且與工件對應的拋光墊下方的一個階梯孔內，電渦流傳感器括線圈、殼體和壓緊螺母，殼體為一個空心的階梯軸，所述的線圈安裝在階梯軸頂部，壓緊螺母設置在拋光臺的上表面和階梯軸的上軸肩之間，壓緊螺母的內孔與階梯軸配合，并通過外螺紋與拋光臺連接；所述的多頻信號發生器通過雙芯屏蔽數據線經前置電路、導電滑環和導電定環與電渦流傳感器連接，為電渦流傳感器提供激勵信號；因金屬膜厚度變化引起的電渦流傳感器的電感變化信號通過雙芯屏蔽數據線經前置電路、導電滑環和導電定環輸入到計算控制單元；當晶圓表面的金屬膜厚到達終點厚度值時，該裝置控制拋光機停止拋光。

2.根據權利要求1所述的一種電渦流金屬膜厚度終點檢測裝置，其特征在于：電渦流傳感器的線圈為單層空芯線圈。

3.根據權利要求1所述的一種電渦流金屬膜厚度終點檢測裝置，其特征在于：所述的多頻信號發生器為掃頻模式或多頻疊加模式。

4.根據權利要求1所述的一種電渦流金屬膜厚度終點檢測裝置，其特征在于：在階梯軸的下軸肩下部設有密封圈。