[發明專利]ULSI銅表面高精密加工過程中化學機械拋光液的制備方法有效
| 申請號： | 201010231552.5 | 申請日： | 2010-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN102010661A | 公開（公告）日： | 2011-04-13 |
| 發明（設計）人： | 劉玉嶺;何彥剛;劉鈉 | 申請（專利權）人： | 天津晶嶺微電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;C23F3/04 |
| 代理公司： | 天津市三利專利商標代理有限公司 12107 | 代理人： | 劉英蘭 |
| 地址： | 300130*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | ulsi 表面 精密 加工 過程 化學 機械拋光 制備 方法 | ||
1.一種ULSI銅表面高精密加工過程中化學機械拋光液的制備方法，其特征在于實施步驟如下：?
（1）將以下成分按重量%計：
納米SiO2磨料：2-80，?????去離子水：10-95，
活性劑：0.1-3，???????????絡合劑：0.1-3?，???
胺堿：0.1-5；?
（2）采用18MΩ以上超純水清洗反應器3次，去除反應器內部雜質，再用負壓將pH值9-13、粒徑為15-40nm?SiO2溶膠吸入反應器；
（3）在負壓作用下,實現反應液的劇烈渦流攪拌，使反應器內部無滯留層與死角；利用負壓吸入經18MΩ超純水稀釋后的堿性pH調節劑調節pH值為9-13；在渦流狀態下加入所述量的活性劑、絡合劑與堿性pH調節劑胺堿，攪拌均勻。
2.根據權利要求1所述的ULSI銅表面高精密加工過程中化學機械拋光液的制備方法，其特征在于：所述步驟（2）的磨料是粒徑15-40nm、分散度<0.0001的SiO2溶膠，濃度4-50wt%。
3.根據權利要求1所述的ULSI銅表面高精密加工過程中化學機械拋光液的制備方法，其特征在于：所述步驟（3）中加入的活性劑為市售FA/O活性劑。
4.根據權利要求1所述的ULSI銅表面高精密加工過程中化學機械拋光液的制備方法，其特征在于：所述步驟（3）中加入的絡合劑為市售FA/O絡合劑。
5.根據權利要求1所述的ULSI銅表面高精密加工過程中化學機械拋光液的制備方法，其特征在于：所述步驟（3）中加入的胺堿選擇三乙醇胺、四乙基氫氧化胺、乙二胺、羥乙基乙二胺或多乙烯多胺中的一種以上。
6.根據權利要求1所述的ULSI銅表面高精密加工過程中化學機械拋光液的制備方法，其特征在于：所述步驟（2）反應器原材料選用無污染的聚丙烯、聚乙烯、聚甲基丙烯酸甲脂之一。
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