[發明專利]膜料加工裝置及具有該膜料加工裝置的蒸鍍設備

無效

• 申請號: 201010231205.2
• 申請日: 2010-07-19
• 公開（公告）號: CN102337502A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發明（設計）人: 裴紹凱
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種膜料加工裝置，尤其涉及一種設置于離子輔助蒸鍍系統內用于平整膜料的膜料加工裝置及具有該膜料加工裝置的蒸鍍設備。

背景技術

光學薄膜一般采用蒸鍍法(Evaporation?Deposition)、離子輔助蒸鍍法(Ion?Assisted?deposition，IAD)或離子濺鍍法(Ion?Beam?Sputtering?Deposition，IBSD)進行鍍制。

離子輔助蒸鍍具有獨立的離子源，安裝簡單，對原系統的影響低，且離子束的范圍大，分布均勻，擁有良好的動能，可以較輕易地將膜層壓緊，得到附著力良好的膜層等優點，其采用程度較高。離子輔助蒸鍍中，要求膜料(即蒸鍍靶材)表面平整、內部結構致密，具有較好的潔凈度，并避免存在顆粒狀或纖維狀的雜質，以確保蒸鍍加工過程蒸鍍速率穩定，在鍍膜件上形成質量較佳的膜層。因此，通常需要先制取供離子輔助蒸鍍加工使用的表面平整、內部結構致密的膜料。目前，制取膜料一般是先將顆粒狀的膜料原料放入蒸鍍腔中的金屬坩堝內，并采用人工的方式進行平整，然后在真空環境里利用高能電子束進行加熱，使坩堝內的膜料原料受熱完全熔化，最后冷卻完全熔化的膜料原料，即獲得膜料。

但是，采用人工方式對坩堝內的膜料顆粒進行平整時，易受顆粒大小差異性及顆粒間孔隙的影響，而使得膜料原料在后續熔化時受熱不均，造成最終獲得的膜料出現表面凹凸不平、內部結構不致密等現象。對此，現有技術通常是對膜料進行再次的人工平整，由此，在人工平整過程中易出現人為污染膜料的現象，且人工平整需要反復地對蒸鍍腔進行破真空與抽真空的操作，直接造成加工工時的浪費；此外，頻繁地破真空與抽真空，較易影響真空泵的壽命及工作效率。

發明內容

有鑒于此，有必要提供一種易于實現的、可有效解決現有技術中存在的問題的膜料加工裝置及具有該膜料加工裝置的蒸鍍設備。

一種膜料加工裝置，其用于平整蒸鍍膜料，所述膜料加工裝置包括一個坩堝，及一個旋轉軸。所束坩堝具有一個收容膜料的容置孔。所述旋轉軸與所述坩堝相連接，所述坩堝可以繞所述旋轉軸旋轉。所述膜料加工裝置進一步包括一個平整蓋，及一個驅動器。所述平整蓋與所述坩堝的容置孔相配合以平整容置孔內的膜料，所述平整蓋具有一個形狀與所述容置孔的形狀相對應的平整面。所述驅動器具有一個驅動軸，所述驅動軸與所述平整蓋相耦合，所述驅動器驅動所述平整蓋繞所述驅動軸旋轉以閉合或開啟所述坩堝的容置孔。所述平整蓋閉合所述容置孔時，所述平整面朝向所述容置孔的底部。

一種蒸鍍設備，其包括一個膜料加工裝置，所述膜料加工裝置包括一個坩堝，及一個旋轉軸。所束坩堝具有一個收容膜料的容置孔。所述旋轉軸與所述坩堝相連接，所述坩堝可以繞所述旋轉軸旋轉。所述膜料加工裝置進一步包括一個平整蓋，及一個驅動器。所述平整蓋與所述坩堝的容置孔相配合以平整容置孔內的膜料，所述平整蓋具有一個形狀與所述容置孔的形狀相對應的平整面。所述驅動器具有一個驅動軸，所述驅動軸與所述平整蓋相耦合，所述驅動器驅動所述平整蓋繞所述驅動軸旋轉以閉合或開啟所述坩堝的容置孔。所述平整蓋閉合所述容置孔時，所述平整面朝向所述容置孔的底部。

相對于現有技術，本發明的膜料加工裝置具有如下優點：其一，利用驅動器與平整蓋，可以在制取膜料的過程中實現自動平整坩堝內的膜料，使膜料均勻受熱，確保最終獲得表面平整、內部結構致密的膜料，便于后續獲得速率穩定的蒸鍍加工過程。其二，無需反復地對蒸鍍腔進行破真空與抽真空的操作，既減少了不必要的工時浪費，也可以避免因頻繁地破真空與抽真空而影響真空泵的壽命及工作效率。其三，實現自動平整坩堝內的膜料可以避免人工平整過程中，出現人為污染膜料的現象。其四，采用具有所述膜料加工裝置的蒸鍍設備進行蒸鍍加工時，可以在制取膜料至蒸鍍加工的整個過程實現自動化操作，有利于提高蒸鍍效率。

附圖說明

圖1是本發明第一實施例提供的膜料加工裝置的示意圖。

圖2是圖1所示的膜料加工裝置平整膜料時的工作狀態示意圖。

圖3是本發明第二實施例提供的具有圖1所示的膜料加工裝置的蒸鍍設備的示意圖。

主要元件符號說明

坩堝??????????????10

容置孔????????????11

旋轉軸????????????20

平整蓋????????????30

平整面????????????31

驅動器????????????40

驅動軸????????????41