[發明專利]多匯流條聲表面波濾波器

有效

• 申請號: 201010223448.1
• 申請日: 2010-07-02
• 公開（公告）號: CN101888221A
• 公開（公告）日: 2010-11-17
• 發明（設計）人: 王為標;王少安;趙雯;倪山林
• 申請（專利權）人: 無錫市好達電子有限公司
• 主分類號: H03H9/64
• 分類號: H03H9/64
• 代理公司: 無錫華源專利事務所 32228
• 代理人: 聶漢欽

技術領域

本發明涉及帶通濾波器，具體涉及集成于壓電晶體材料上的聲表面波帶通濾波器。

背景技術

當電壓加載在具有壓電特性的基片材料的電極上，會在壓電體材料的晶格中形成機械形變。當加載在壓電晶體材料電極上的電壓為輸入的電信號，會在壓電晶體材料表面的晶格中形成聲表面波，該聲表面波是一種在壓電晶體材料表面傳播，振幅隨深入基片材料深度的增加而迅速減少的彈性機械波。

聲表面波濾波器的基本結構是在具有壓電特性的基片材料的拋光面上制作金屬薄膜，通過光刻工藝形成交叉成對的梳狀電極結構(稱之為叉指換能器)，在叉指換能器電極結構上施加傳輸的電信號，壓電材料的表面就會產生機械振動并同時激發出與外加電信號頻率相同的聲表面波，這種表面波會沿基片材料表面傳播。兩梳狀電極的連接各叉指指條的梳柄部分稱之為匯流條，信號電壓施加于兩匯流條上。叉指換能器包括輸入端叉指換能器和輸出端叉指換能器。電信號通過輸入端叉指換能器轉換成聲表面波信號，沿晶體表面傳播一定距離后到達輸出端叉指換能器，輸出端叉指換能器將接收到的聲表面波信號轉換成電信號輸出。所述輸入端叉指換能器和輸出端叉指換能器根據不同的切指加權結構，對聲表面波具有不同的傳輸特性。

由于聲表面波濾波器件的叉指換能器固有的雙向性以及壓電基片的有限長度，必然會在基片端面產生聲反射波，它與主信號疊加時，會使聲表面波器件的通帶內產生波紋，影響器件的性能；聲表面波在聲通道內傳播時會有衍射效應，衍射波會在基片的側面反射回來，疊加到信號上面，也會惡化器件的性能；聲表面波在一個有限的通道內傳播時，由于兩側的邊界條件，還會有橫向模式存在，這也會使器件的性能變壞。通常采用在器件的表面涂敷吸聲材料的方法來減輕這些不利效應的影響。將吸聲材料涂敷在聲表面波器件兩端面壓電單晶基片上，可以消除端面反射波。在叉指換能器的兩邊以及在匯流條與切指加權包絡線之間涂敷吸聲材料，可以消除衍射聲波在基片側面的反射波，同時破壞聲波導的邊界條件，抑制波導效應。

在工藝過程中，吸聲材料通常是半流體的油墨，當涂敷在輸入端叉指換能器的匯流條與切指加權包絡線之間時，在油墨凝固之前的一段時間內，會有一定程度的流動，特別是叉指之間的微小空隙會存在毛細效應，加劇油墨的流動。如果吸聲材料擴散到切指加權包絡線區域內，則會吸收有用的聲波，使得器件的性能惡化，降低器件成品率。在聲表面波器件的生產中，這是影響合格率的最重要的一個因素。

發明內容

針對現有聲表面波濾波器上涂敷的吸聲材料易向切指加權包絡線內擴散，降低器件成品率的缺點，申請人經過研究改進，提供一種多匯流條聲表面波濾波器，既能夠提高器件的性能，又能夠提高產品的合格率，降低成本。

本發明的技術方案如下：

一種多匯流條聲表面波濾波器，包括集成于壓電晶體片上的輸入端叉指換能器、輸出端叉指換能器以及兩者之間的屏蔽條，所述輸入端叉指換能器的各叉指指條的梳柄部分通過粗匯流條連接，所述輸入端叉指換能器的切指包絡線與所述每個粗匯流條之間分別設置有細匯流條。

其進一步的技術方案為：所述細匯流條至少為一根。所述細匯流條的寬度是叉指指條寬度的0.5～1.5倍。

一個可選的技術方案為：所述聲表面波濾波器為單通道聲表面波濾波器，有一個輸入端叉指換能器和一個輸出端叉指換能器，所述輸入端叉指換能器是切指加權的叉指換能器，所述輸出端叉指換能器是等指叉指換能器。

另一個可選的技術方案為：所述聲表面波濾波器為雙通道聲表面波濾波器，有兩個輸入端叉指換能器和一個輸出端叉指換能器，兩個輸入端叉指換能器共用一個輸出端叉指換能器；所述兩個輸入端叉指換能器共用一個梳狀電極；所述兩個輸入端叉指換能器為兩個并列的切指加權的叉指換能器，切指包絡線的主瓣區域錯開排列，處于相互交叉疊放的位置；所述輸出端叉指換能器為等指叉指換能器；所述共用的梳狀電極上的匯流條分段構成，分別連接所述兩個切指加權的叉指換能器上的叉指指條。

再一個可選的技術方案為：所述聲表面波濾波器為雙通道聲表面波濾波器，有兩個輸入端叉指換能器和兩個輸出端叉指換能器；所述輸入端叉指換能器為切指加權的叉指換能器；所述輸出端叉指換能器為等指叉指換能器。

本發明的有益技術效果是：