[發明專利]一種高硬度微米研磨液及其配制方法

有效

• 申請號: 201010222586.8
• 申請日: 2010-06-30
• 公開（公告）號: CN102311717A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發明（設計）人: 汪寧;陳曉娟;羅衛軍;龐磊;劉新宇
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: C09K3/14
• 分類號: C09K3/14
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 周國城

1.一種高硬度微米研磨液，其特征在于，該研磨液由單晶人造金剛石微粉、氧化鋁微粉、無機鹽混合物、有機物PEG200、氨水、丙酸和去離子水配置而成，具體質量百分比為：金剛石微粉0.1～2.0％，氧化鋁微粉0.2～5.0％，無機鹽混合物0.2～5.0％，PEG2000.5％～10％，氨水0.01～1％，丙酸0.01～1％，去離子水78～98.5％。

2.根據權利要求1所述的高硬度微米研磨液，其特征在于，所述單晶人造金剛石微粉和氧化鋁微粉的顆粒直徑大小均為25～1μm。

3.根據權利要求1所述的高硬度微米研磨液，其特征在于，所述無機鹽混合物作為分散劑，由硅酸鈉、次氯酸鈉和焦磷酸鈉配置而成。

4.根據權利要求1所述的高硬度微米研磨液，其特征在于，所述有機物PEG200作為潤滑劑。

5.根據權利要求1所述的高硬度微米研磨液，其特征在于，所述氨水和丙酸作為PH值調節劑。

6.根據權利要求1所述的高硬度微米研磨液，其特征在于，所述去離子水作為溶劑。

7.一種配制權利要求1所述研磨液的方法，其特征在于，該方法包括：

步驟1：水浴融化PEG200，水溫45～60℃；

步驟2：用量杯稱取5～100克PEG200，倒入去離子水中；

步驟3：熱板上加熱PEG200和去離子水混合溶液，攪拌均勻，熱板溫度40～50℃；

步驟4：稱取無機鹽混合物硅酸鈉/次氯酸鈉/焦磷酸鈉2～50克，倒入PEG200和去離子水的混合溶液中，一邊加入一邊攪拌；

步驟5：稱取1～20克金剛石微粉，倒入添加無機鹽混合物的混合溶液中制備成渾濁漿液，超聲攪拌；

步驟6：稱取2～50克氧化鋁微粉，倒入添加金剛石微粉的漿液中，超聲攪拌；

步驟7：將添加氧化鋁微粉的漿液放置在超聲臺上進行振蕩攪拌20～30分鐘，超聲頻率40～60Hz；

步驟8：待漿液冷卻到20℃，加入氨水和丙酸，將PH值調整至6～10；

步驟9：將調節好PH值的漿液倒入密封容器，放置在超聲臺上進行振蕩攪拌10～30分鐘，超聲頻率40～60Hz。