[發(fā)明專利]可使工件搖擺的真空鍍膜系統(tǒng)及搖擺載具

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010220723.4
• 申請(qǐng)日: 2010-07-01
• 公開（公告）號(hào): CN102312203A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡維彥;鄭兆希
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 向熙科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 湯在彥

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于一種載具，特別是指對(duì)表面為非平面結(jié)構(gòu)的工件進(jìn)行濺鍍時(shí)，可使工件搖擺的真空鍍膜系統(tǒng)及搖擺載具。

背景技術(shù)

市面上的電子產(chǎn)品，比如：手機(jī)、筆記本計(jì)算機(jī)、隨身聽等。消費(fèi)者在選擇是否購買時(shí)，除了注重功能之外，電子產(chǎn)品的外型及質(zhì)感也是很重要的考慮因素，比如：注重外型設(shè)計(jì)是否新穎、美觀，重量是否輕而方便攜帶，或者注重手持時(shí)觸感是否良好等等。

由于工程塑料的組件形狀通常可一體成形，不像金屬需額外的金屬加工程序，且具有質(zhì)輕、可選擇透明或不透明、耐水、不腐蝕、不通電、不導(dǎo)熱等特色，已廣泛應(yīng)用在日常生活中。因此，電子產(chǎn)品的外殼通常使用塑料外殼，使電子產(chǎn)品具有輕薄短小的優(yōu)點(diǎn)。然而，塑料材質(zhì)制成的外殼，于視覺或觸碰時(shí)質(zhì)感較差，同時(shí)也無法防止電磁干擾。因此，必須對(duì)電子產(chǎn)品的塑料外殼鍍上金屬層，以提升電子產(chǎn)品外殼的美觀及質(zhì)感，并可防止電磁波輕易穿透塑料外殼，影響電子產(chǎn)品的使用。

相較于現(xiàn)有的蒸鍍方式，濺鍍技術(shù)所鍍膜層的速度快且均勻性較佳，膜厚也較易控制。因此，要將金屬層鍍于塑料工件表面，現(xiàn)今大多采用濺鍍方式。公知的載具僅負(fù)責(zé)傳送工件進(jìn)行濺鍍，欲濺鍍具有非平面表面的工件時(shí)，陰影效應(yīng)會(huì)造成工件表面的凹陷部、垂直面或溝槽處無法被均勻?yàn)R鍍。一般情況下，水平面膜厚通常比垂直面膜厚大兩倍以上。工件表面的膜層厚度均勻性不佳，也會(huì)影響其防止電磁波穿透的功效。特別是當(dāng)工件表面具有圓柱狀結(jié)構(gòu)時(shí)，要使柱狀結(jié)構(gòu)的側(cè)表面都能夠均勻地被濺鍍，其困難度更高。因此，當(dāng)工件表面為非平面時(shí)，如何提升表面濺鍍膜厚的均勻性，是一待解決的問題。

因此，若濺鍍時(shí)使工件能相對(duì)于靶材轉(zhuǎn)動(dòng)，使工件垂直面受到濺鍍的機(jī)會(huì)增加，則可提升鍍膜的均勻性。然而，在真空腔體中，利用馬達(dá)來提供動(dòng)力，控制工件轉(zhuǎn)動(dòng)角度，使工件表面的法線方向和濺鍍方向形成一夾角，會(huì)具有一些難度。比如：在濺鍍的過程中，金屬原子亦可能會(huì)濺鍍到馬達(dá)上，當(dāng)長時(shí)間使用后，馬達(dá)上也會(huì)被濺鍍上一層厚厚的金屬，這有可能將馬達(dá)卡住，導(dǎo)致馬達(dá)無法精確控制工件轉(zhuǎn)動(dòng)的角度，以致達(dá)不到預(yù)期的濺鍍效果。此外，使用馬達(dá)作為動(dòng)力來源時(shí)，需外接一電源裝置，但在真空濺鍍腔體內(nèi)新增這些設(shè)備可能會(huì)造成成本的提高，或者產(chǎn)生其它問題。

因此，如何能在真空腔體內(nèi)不新增額外裝置的情況下，設(shè)計(jì)一鍍膜設(shè)備傳輸載具，使工件在濺鍍過程中能相對(duì)于靶材左右轉(zhuǎn)動(dòng)，來提升工件表面鍍膜的均勻性，為現(xiàn)今濺鍍技術(shù)中所欲發(fā)展的課題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的技術(shù)問題是提供一種可使工件搖擺的真空鍍膜系統(tǒng)及載具，大幅提升鍍膜的均勻性。

本發(fā)明的技術(shù)解決方案是：

一種搖擺載具，其中，該搖擺載具用以配合一導(dǎo)引軌道及一輸送裝置，在僅使用輸送動(dòng)力源的情況下，使承載于該搖擺載具上的工件擺動(dòng)，該搖擺載具包括：

一第一支架及一第二支架；

一搖擺轉(zhuǎn)軸，連接于該第一支架及第二支架之間，該搖擺轉(zhuǎn)軸用以裝載所述工件；及

一傳動(dòng)組件，可選擇性的設(shè)置于第一支架及第二支架或二者其中之一，并連接該搖擺轉(zhuǎn)軸，在不新增額外動(dòng)力源情況下，將運(yùn)輸載具的動(dòng)力源配合該導(dǎo)引軌道將動(dòng)力傳動(dòng)至該搖擺轉(zhuǎn)軸，使該搖擺轉(zhuǎn)軸在順時(shí)針方向及逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述工件以一正負(fù)預(yù)設(shè)角度擺動(dòng)。

一種可使工件搖擺的真空鍍膜系統(tǒng)，其中，該鍍膜系統(tǒng)包括：

一真空腔體，該真空腔體內(nèi)具有一鍍膜設(shè)備及一導(dǎo)引軌道，其中，該鍍膜設(shè)備用以對(duì)工件進(jìn)行鍍膜；及

一搖擺載具，該搖擺載具配合該導(dǎo)引軌道來使工件擺動(dòng)，該搖擺載具包括：

一第一支架及一第二支架；

一搖擺轉(zhuǎn)軸，連接于該第一支架及第二支架之間，該搖擺轉(zhuǎn)軸用以裝載所述工件；及

一傳動(dòng)組件，可選擇性的設(shè)置于第一支架及第二支架或二者其中之一，并連接于該搖擺轉(zhuǎn)軸，在不增加額外動(dòng)力源情況下，將運(yùn)輸載具的動(dòng)力源配合該導(dǎo)引軌道將動(dòng)力傳動(dòng)至該搖擺轉(zhuǎn)軸，使該搖擺轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，而帶動(dòng)所述工件在進(jìn)行鍍膜時(shí)以一正負(fù)預(yù)設(shè)角度擺動(dòng)。

本發(fā)明提供了一種真空鍍膜系統(tǒng)的搖擺載具，真空鍍膜系統(tǒng)內(nèi)預(yù)設(shè)一導(dǎo)引軌道，使載具在真空鍍膜系統(tǒng)內(nèi)時(shí)，承載于載具上的工件在鍍膜同時(shí)可相對(duì)于靶材轉(zhuǎn)動(dòng)，載具包括：一第一支架及一第二支架；一搖擺轉(zhuǎn)軸，連接于第一支架及一第二支架之間，用以放置工件，并可轉(zhuǎn)動(dòng)；及一傳動(dòng)組件，可選擇性的設(shè)置于第一支架及第二支架或二者其中之一，在不增加額外新動(dòng)力源情況下，將運(yùn)輸載具的動(dòng)力源配合導(dǎo)引軌道將動(dòng)力傳動(dòng)至搖擺轉(zhuǎn)軸，使搖擺轉(zhuǎn)軸以一正負(fù)預(yù)設(shè)角度轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)工件擺動(dòng)。