[發(fā)明專利]可使工件搖擺的真空鍍膜系統(tǒng)及搖擺載具

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010220723.4
• 申請(qǐng)日: 2010-07-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102312203A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡維彥;鄭兆希
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 向熙科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 湯在彥

1.一種搖擺載具，其特征在于，該搖擺載具用以配合一導(dǎo)引軌道及一輸送裝置，在僅使用輸送動(dòng)力源的情況下，使承載于該搖擺載具上的工件擺動(dòng)，該搖擺載具包括：

一第一支架及一第二支架；

一搖擺轉(zhuǎn)軸，連接于該第一支架及第二支架之間，該搖擺轉(zhuǎn)軸用以裝載所述工件；及

一傳動(dòng)組件，可選擇性的設(shè)置于第一支架及第二支架或二者其中之一，并連接該搖擺轉(zhuǎn)軸，在不新增額外動(dòng)力源情況下，將運(yùn)輸載具的動(dòng)力源配合該導(dǎo)引軌道將動(dòng)力傳動(dòng)至該搖擺轉(zhuǎn)軸，使該搖擺轉(zhuǎn)軸在順時(shí)針?lè)较蚣澳鏁r(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述工件以一正負(fù)預(yù)設(shè)角度擺動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的搖擺載具，其特征在于，該導(dǎo)引軌道是一非直線導(dǎo)引軌道，該傳動(dòng)組件包括一第一從動(dòng)輪、一連動(dòng)組件及一軌跡輪，該第一從動(dòng)輪及該軌跡輪以該連動(dòng)組件相互連接，該第一從動(dòng)輪軸心與該搖擺轉(zhuǎn)軸軸心相同，當(dāng)該軌跡輪沿該非直線導(dǎo)引軌道移動(dòng)時(shí)，藉由該非直線導(dǎo)引軌道的曲度，迫使該連動(dòng)組件隨該軌跡輪的移動(dòng)軌跡帶動(dòng)該第一從動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，使得該搖擺轉(zhuǎn)軸上的工件擺動(dòng)。

3.如權(quán)利要求1所述的搖擺載具，其特征在于，該導(dǎo)引軌道是一曲線軌道，且該傳動(dòng)組件包括：

一第一從動(dòng)輪組，該第一從動(dòng)輪組包括一大從動(dòng)輪及一小從動(dòng)輪，該大從動(dòng)輪及該小從動(dòng)輪的軸心與該搖擺轉(zhuǎn)軸軸心相同；

一驅(qū)動(dòng)輪組，該驅(qū)動(dòng)輪組包括一大驅(qū)動(dòng)輪和一小驅(qū)動(dòng)輪，該大驅(qū)動(dòng)輪及該小驅(qū)動(dòng)輪的軸心樞接于該傳動(dòng)組件所設(shè)置的支架；

一第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，該第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)套設(shè)于該小從動(dòng)輪及該小驅(qū)動(dòng)輪之間，當(dāng)該小驅(qū)動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)可帶動(dòng)該小從動(dòng)輪；

一彈簧，該彈簧兩端被固定；及

一單連桿，該單連桿一端連接于該大從動(dòng)輪或小從動(dòng)輪的輪面，另一端連接于該彈簧中間，其中，當(dāng)該驅(qū)動(dòng)輪組靠近該導(dǎo)引軌道時(shí)，該大驅(qū)動(dòng)輪與該導(dǎo)引軌道摩擦而轉(zhuǎn)動(dòng)，使該驅(qū)動(dòng)輪組往順時(shí)針或逆時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)，以帶動(dòng)該第一從動(dòng)輪組，并使該單連桿產(chǎn)生偏移，藉由該彈簧的拉伸彈力，使該第一從動(dòng)輪組往逆時(shí)針或順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)。

4.如權(quán)利要求3所述的搖擺載具，其特征在于，該彈簧以該單連桿為中心分成一第一彈簧及一第二彈簧，該第一彈簧及該第二彈簧的其中一端均同時(shí)固定于該單連桿，當(dāng)該輸送裝置以所述彈簧的共振頻率來(lái)回移動(dòng)該搖擺載具時(shí)，該驅(qū)動(dòng)輪組會(huì)與該導(dǎo)引軌道摩擦來(lái)帶動(dòng)該第一從動(dòng)輪組，使第一從動(dòng)輪組左右轉(zhuǎn)動(dòng)的頻率和所述彈簧的共振頻率產(chǎn)生響應(yīng)，而有更大的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。

5.如權(quán)利要求1所述的搖擺載具，其特征在于，該搖擺載具還包括一第二搖擺轉(zhuǎn)軸、一第二從動(dòng)輪及一第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，該第二從動(dòng)輪軸心與該第二搖擺轉(zhuǎn)軸軸心相同，并且該第二從動(dòng)輪與該傳動(dòng)組件以所述第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)相互連結(jié)，以使該第二搖擺轉(zhuǎn)軸同時(shí)搖擺。

6.如權(quán)利要求1所述的搖擺載具，其特征在于，該搖擺載具為直立式或平臥式，所述搖擺轉(zhuǎn)軸上設(shè)有多個(gè)夾具，以裝載所述工件。

7.一種可使工件搖擺的真空鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該鍍膜系統(tǒng)包括：

一真空腔體，該真空腔體內(nèi)具有一鍍膜設(shè)備及一導(dǎo)引軌道，其中，該鍍膜設(shè)備用以對(duì)工件進(jìn)行鍍膜；及

一搖擺載具，該搖擺載具配合該導(dǎo)引軌道來(lái)使工件擺動(dòng)，該搖擺載具包括：

一第一支架及一第二支架；

一搖擺轉(zhuǎn)軸，連接于該第一支架及第二支架之間，該搖擺轉(zhuǎn)軸用以裝載所述工件；及

一傳動(dòng)組件，可選擇性的設(shè)置于第一支架及第二支架或二者其中之一，并連接于該搖擺轉(zhuǎn)軸，在不增加額外動(dòng)力源情況下，將運(yùn)輸載具的動(dòng)力源配合該導(dǎo)引軌道將動(dòng)力傳動(dòng)至該搖擺轉(zhuǎn)軸，使該搖擺轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，而帶動(dòng)所述工件在進(jìn)行鍍膜時(shí)以一正負(fù)預(yù)設(shè)角度擺動(dòng)。

8.如權(quán)利要求7所述的可使工件搖擺的真空鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該導(dǎo)引軌道是一非直線導(dǎo)引軌道，該非直線導(dǎo)引軌道為一曲線型折板或一S型導(dǎo)引軌道，依預(yù)設(shè)曲率而使該工件擺動(dòng)，其中該工件擺動(dòng)的預(yù)設(shè)角度大約±5至±80度。

9.如權(quán)利要求8所述的可使工件搖擺的真空鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該傳動(dòng)組件包括一第一從動(dòng)輪、一連動(dòng)組件及一軌跡輪，該第一從動(dòng)輪及該軌跡輪以該連動(dòng)組件相互連接，該第一從動(dòng)輪連接于該搖擺轉(zhuǎn)軸，由于該非直線導(dǎo)引軌道的曲度，當(dāng)該軌跡輪沿該非直線導(dǎo)引軌道移動(dòng)時(shí)，迫使該連動(dòng)組件隨該軌跡輪的移動(dòng)軌跡帶動(dòng)該第一從動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，使該搖擺轉(zhuǎn)軸上的工件擺動(dòng)。