[發(fā)明專利]頂針及具有該頂針的等離子體刻蝕裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010219614.0
• 申請日: 2010-06-25
• 公開（公告）號: CN102299090A
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李俊杰
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/00
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種頂針及具有該頂針的等離子體刻蝕裝置，尤其涉及用于半導體工藝中的頂針及等離子體刻蝕裝置。

背景技術(shù)

在集成電路制造過程中，需要在晶片上形成微細尺寸的圖形(pattern)，等離子體刻蝕是產(chǎn)生圖形的一種重要方法。在現(xiàn)有的等離子體刻蝕設(shè)備中，如圖1所示，刻蝕進行時被加工的晶片3被吸附在靜電卡盤2上；而當要將晶片3傳入或傳出加工腔室7時，如圖2和圖3所示，升降裝置6使四根穿過靜電卡盤2的頂針1上升(升針)，從而將晶片3水平托起，以便機械手取放晶片3。在工作一定時間后，等離子體刻蝕設(shè)備的腔室7需進行等離子體刻蝕清洗，此時各頂針1處于下降(降針)位置，因靜電卡盤2上不設(shè)置晶片，故各頂針1的前端暴露在清洗用的等離子體中。

顯然，上述頂針應(yīng)具有良好的韌性，以防其在裝配和使用過程中被折斷或損壞；且頂針還需要有良好的耐腐蝕性，否則會在清洗工藝中被逐漸腐蝕耗損，造成各頂針的長度不同，影響晶片水平度，產(chǎn)生晶片側(cè)滑。現(xiàn)有的頂針主要有兩種，一種由樹脂材料制造，其韌性較好，但耐腐蝕性不足；另一種由陶瓷材料制造，其耐腐蝕，但韌性較差。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的實施例提供一種頂針，其兼具良好的韌性和耐腐蝕性。

為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案：

一種頂針，包括韌性針體，且所述頂針至少在前端具有耐腐蝕表面。

由于本發(fā)明的實施例的頂針具有韌性針體，且頂針前端的表面耐腐蝕，故該頂針兼具良好的韌性和耐腐蝕性。

本發(fā)明的實施例提供一種等離子體刻蝕裝置，其中的頂針兼具良好的韌性和耐腐蝕性。

為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案：

一種等離子體刻蝕裝置，包括上述頂針，所述頂針用于將刻蝕基底托起。

由于本發(fā)明的實施例的等離子體刻蝕裝置包括上述頂針，故其中的頂針兼具良好的韌性和耐腐蝕性。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。

圖1為現(xiàn)有的等離子體刻蝕裝置降針時的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為現(xiàn)有的等離子體刻蝕裝置升針時的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為現(xiàn)有的等離子體刻蝕裝置升針時靜電卡盤處的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明實施例一的頂針的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明實施例的另一種頂針的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本發(fā)明實施例的另一種頂針的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為本發(fā)明實施例的另一種頂針的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為本發(fā)明實施例二的頂針的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為本發(fā)明實施例三的等離子體刻蝕裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

本發(fā)明實施例提供一種頂針，包括韌性針體，且所述頂針至少在前端具有耐腐蝕表面。

由于本發(fā)明的實施例的頂針具有韌性針體，且頂針前端的表面耐腐蝕，故該頂針兼具良好的韌性和耐腐蝕性。

實施例一

本發(fā)明實施例提供一種頂針，其包括長形的韌性針體4，該針體4直徑為1～3mm，長度為40～100mm；韌性針體4由具有良好韌性的材料制造，例如Fe-Mn-Si合金、Cu-Zn-Al合金、Ni-Al合金、Ni-Ti合金等形狀記憶合金材料；也可為其它金屬材料；也可為樹脂材料等。顯然，該韌性針體4可通過任何公知的方法制造，例如可直接澆鑄得到金屬或合金的針體4；也可直接注塑成型得到樹脂針體4；也可先制造針體的坯料后再通過機械加工的方法得到針體4。