[發明專利]石英舟自動上下片裝置

有效

• 申請號: 201010204525.9
• 申請日: 2010-06-18
• 公開（公告）號: CN101866990A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發明（設計）人: 蔡淘璞;吳曉松;紀俊鋒;陸杰;左凱鋒;潘加永;翁建軍;張建國;葛新華;徐永兵;顧雯華
• 申請（專利權）人: 無錫尚德太陽能電力有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;孫麗梅

1.一種石英舟自動上、下片的裝置，其特征在于，所述裝置包括承載盒運輸臺、石英舟上下片臺、吸片機構、中央控制單元，其中：

承載盒運輸臺固定在操作臺面上，其具有輸送硅片承載盒的傳送帶，在傳送帶中部的一側分別設置有取料定位汽缸，所述取料定位汽缸用于在承載盒被輸送到承載盒運輸臺中部的取料位置時將承載盒固定在該取料位置上以便吸片機構能夠吸取硅片；

石英舟上下片臺緊鄰承載盒運輸臺固定，其包括導軌和設置在該導軌上的用于安置石英舟的滑車，所述滑車由滑車電機驅動，能夠沿所述導軌前后移動并能精確定位在石英舟上下片臺的裝框位置處，連接所述裝框位置與所述取料位置的直線垂直于所述傳送帶的傳送方向；

吸片機構設置在承載盒運輸臺與石英舟上下片臺上方，其包括固定在操作臺面上的固定框架、吸盤支架以及安裝在所述吸盤支架上用于吸取硅片的集成吸盤；所述吸盤支架通過升降電機能夠上下移動，從而將安裝于其上的集成吸盤移至能夠從承載盒中吸取硅片或者能夠將吸附的硅片放置在石英舟中的高度上；所述集成吸盤能夠通過與其相連接的平移電機而進行水平移動，從而能夠使集成吸盤在承載盒運輸臺與石英舟上下片臺之間橫向移動；

中央控制單元包括觸摸屏、PLC控制器，其中PLC控制器構造為控制所述傳送帶、升降電機、平移電機、滑車移動電機的運行。

2.根據權利要求1所述的石英舟自動上、下片的裝置，其特征在于，所述傳送帶兩側設置有護欄以阻止承載盒在傳送帶上橫向滑移。

3.根據權利要求1所述的石英舟自動上、下片的裝置，其特征在于，承載盒運輸臺的傳送帶包括輸入段、取料段、輸出段，其中輸入與輸出段分別由電機驅動，取料段始終保持靜止。

4.根據權利要求1所述的石英舟自動上、下片的裝置，其特征在于，承載盒運輸臺的傳送帶包括輸入段、取料段、輸出段，其中輸入與輸出段分別由電機驅動，取料段構造為固定平臺。

5.根據權利要求1至4之一所述的石英舟自動上、下片的裝置，其特征在于，承載盒運輸臺的取料定位汽缸由止擋汽缸、導向汽缸以及固定汽缸組成，其中止擋汽缸用于使承載盒停止在取料位置上，導向汽缸用于從承載盒后側向前推動承載盒，而固定汽缸則用于將承載盒靜止地固定在傳送帶的取料位置上。

6.根據權利要求1至4之一所述的石英舟自動上、下片的裝置，所述承載盒運輸臺具有候取定位汽缸，在同一傳送帶同時輸送多個承載盒且前一承載盒已被所述取料定位汽缸固定在所述取料位置時，所述侯取定位汽缸用于將后一承載盒保持在與所述取料位置相鄰的侯取位置上。

7.根據權利要求1至4之一所述的石英舟自動上、下片的裝置，其特征在于，所述滑車電機設置在石英舟上下片臺端部，所述滑車通過絲桿、鏈條或者皮帶與該滑車電機相連，從而能夠沿導軌前后移動并精確制動。

8.根據權利要求1至4之一所述的石英舟自動上、下片的裝置，其特征在于，所述滑車的上面設置有阻止石英舟沿橫向于滑車移動的方向滑移的定位塊、襯墊在石英舟與滑車之間的導向塊以及設置在所述滑車一端的石英舟定位汽缸，所述導向塊與石英舟定位汽缸互相配合能夠將石英舟精確定位并防止石英舟沿滑車移動方向滑移。

9.根據權利要求1至4之一所述的石英舟自動上、下片的裝置，其特征在于，所述滑車中部設置有縱向的矩形孔，該孔中設置有用于接納硅片的齒形卡槽，所述齒形卡槽通過絲桿與所述滑車下部的升降電機相連，通過操作所述升降電機能夠使所述齒形卡槽上升或下降，從而托起或降下硅片。

10.根據權利要求1至4之一所述的石英舟自動上、下片的裝置，其特征在于，在石英舟上下片臺的裝框位置的兩側分別設置有裝框導向汽缸，其上分別活動連接有裝框導向板，所述裝框導向板具有數量與集成吸盤的真空吸片一致的分隔板，通過操作所述裝框導向汽缸能夠對所述裝框導向板的位置加以微調并定位，從而使其能夠將吸附在集成吸盤上的硅片置于其分隔片形成的隔槽中。

11.根據權利要求1至4之一所述的石英舟自動上、下片的裝置，其特征在于，所述滑車上設置有用于探測滑車上是否裝載有石英舟的傳感器，該傳感器安裝在所述滑車一端的傳感器支架上，并能夠將信號發送給所述中央控制器。