[發(fā)明專利]碳化硅單晶的制造裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010196460.8
• 申請日: 2010-06-03
• 公開（公告）號: CN101906664A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小島淳;木藤泰男;索尼婭·安吉利斯;安布羅焦·佩斯納提;約瑟夫·塔倫齊
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社電裝;LPE股份公司
• 主分類號: C30B29/36
• 分類號: C30B29/36
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 周欣;陳建全

1.一種碳化硅單晶的制造裝置，其具備：

反應(yīng)容器(10)、

配置在反應(yīng)容器(10)內(nèi)、且由碳化硅單晶基板構(gòu)成的晶種(5)、

對原料氣體(3)進行加熱的加熱容器(9)；

晶種(5)被配置在反應(yīng)容器(10)的上方；

碳化硅的原料氣體(3)從反應(yīng)容器(10)的下方供給，到達晶種(5)，在晶種(5)的表面使碳化硅單晶(6)生長；

加熱容器(9)相對于反應(yīng)容器(10)被配置在所述原料氣體(3)的流動路徑上游側(cè)；

加熱容器(9)具備：中空筒狀部件(9c)、原料氣體入口(9a)、原料氣體供給噴嘴(9b)和多個擋板(9d～9i)；

原料氣體入口(9a)向中空筒狀部件(9c)內(nèi)導(dǎo)入所述原料氣體(3)；

原料氣體供給噴嘴(9b)從所述中空筒狀部件(9c)向所述反應(yīng)容器(10)中排出原料氣體(3)；

多個擋板(9d～9i)在從原料氣體入口(9a)到原料氣體供給噴嘴(9b)之間被配置在原料氣體(3)的流動路徑上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅單晶的制造裝置，其中，

加熱容器(9)具有用f定義的原料氣體(3)的平均流路長度；

平均流路長度是加熱容器(9)內(nèi)的原料氣體(3)的流動路徑的平均長度；

平均流路長度與用H定義的從原料氣體入口(9a)連結(jié)到原料氣體供給噴嘴(9b)的直線距離具有f＞1.2H的關(guān)系。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅單晶的制造裝置，其中，

多個擋板(9d～9f)與中空筒狀部件(9c)的中心軸交叉，以該中心軸作為排列方向多段排列地配置；

多個擋板(9d～9f)具有位于最靠近原料氣體入口(9a)側(cè)的最下方的擋板(9d)；

最下方的擋板(9d)在從上方看加熱容器(9)時覆蓋原料氣體入口(9a)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的碳化硅單晶的制造裝置，其中，

多個擋板(9d～9f)具有位于最靠近原料氣體供給噴嘴(9b)側(cè)的最上方的擋板(9f)；

最上方的擋板(9f)在從下方看加熱容器(9)時覆蓋原料氣體供給噴嘴(9b)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的碳化硅單晶的制造裝置，其中，

多個擋板(9d～9f)具有配置于最下方的擋板(9d)與最上方的擋板(9f)之間的中間擋板(9e)；

中間擋板(9e)具有圓形狀擋板(9e)和環(huán)狀擋板；

圓形狀擋板(9e)與最下方的擋板(9d)相鄰；

環(huán)狀擋板與圓形狀擋板(9e)相鄰；

環(huán)狀擋板具有開口部；

圓形狀擋板及環(huán)狀擋板重復(fù)交替地配置；

圓形狀擋板的半徑大于位于其下方的環(huán)狀擋板的開口部的半徑。

6.根據(jù)權(quán)利要求3～5中任一項所述的碳化硅單晶的制造裝置，其中，

位于上方的擋板彼此間的間隔為位于下方的擋板彼此間的間隔以上。

7.根據(jù)權(quán)利要求3～5中任一項所述的碳化硅單晶的制造裝置，其中，

還具備多個子擋板(9g～9i)；

多個子擋板(9g～9i)被配置在多段排列地配置的擋板(9d～9f)彼此之間及/或中空筒狀部件(9c)的底部與最下方的擋板(9d)之間；

各子擋板(9g～9i)與多段排列地配置的擋板(9d～9f)交叉；

各子擋板(9g～9i)在也與中空筒狀部件(9c)的中心軸的徑向交叉的方向上延伸地設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的碳化硅單晶的制造裝置，其中，

各子擋板(9g～9i)為以中空筒狀部件(9c)的中心軸為中心的筒狀；

各子擋板(9g～9i)將多段排列地配置的擋板(9d～9f)彼此之間及/或所述中空筒狀部件(9c)的底部與所述最下方的擋板(9d)之間連結(jié)；

各子擋板(9g～9i)具備構(gòu)成原料氣體(3)的流動路徑的開口部(9ga～9ia)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的碳化硅單晶的制造裝置，其中，

各子擋板(9g～9i)被每種多個排列地配置在多段排列地配置的擋板(9d～9f)彼此之間及/或所述中空筒狀部件(9c)的底部與所述最下方的擋板(9d)之間。