[發明專利]用于電鍍基板的裝置和電鍍基板的方法

有效

• 申請號: 201010188682.5
• 申請日: 2010-05-25
• 公開（公告）號: CN102115906A
• 公開（公告）日: 2011-07-06
• 發明（設計）人: 柳達鉉;崔昌煥;李孝錫;崔然弘
• 申請（專利權）人: 三星電機株式會社
• 主分類號: C25D17/02
• 分類號: C25D17/02;C25D7/12
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種用于電鍍基板的基板電鍍裝置，所述裝置包括：

第一旋轉單元，包括電極單元，所述電極單元面向所述基板并且相對于所述基板旋轉；

第二旋轉單元，被配置為使所述第一旋轉單元環繞與所述第一旋轉單元的旋轉軸平行并且位于所述第一旋轉單元外部的軸公轉；以及

供應部，被配置為向所述基板提供電鍍溶液。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述基板被配置為多個基板，并且所述多個基板被設置為圍繞所述電極單元。

3.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述電極單元圍繞所述基板。

4.根據權利要求1所述的裝置，其中：

所述基板被配置為多個基板；

所述電極單元包括內部電極和外部電極；

所述多個基板被設置為圍繞所述內部電極；以及

所述外部電極圍繞所述多個基板。

5.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述基板在與所述電極單元的旋轉方向相反的方向上公轉。

6.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述供應部使所述電鍍溶液在與所述第一旋轉單元的所述旋轉軸平行的方向上流動。

7.一種用于電鍍基板的基板電鍍裝置，所述裝置包括：

第一旋轉單元，包括電極單元，所述電極單元面向所述基板并且相對于所述基板旋轉；以及

供應部，被配置為向所述基板提供電鍍溶液，使所述電鍍溶液在與所述第一旋轉單元的旋轉軸平行的方向上流動。

8.根據權利要求7所述的裝置，其中，所述基板被配置為多個基板，并且所述多個基板被設置為圍繞所述電極單元。

9.根據權利要求7所述的裝置，其中，所述電極單元圍繞所述基板。

10.根據權利要求7所述的裝置，其中：

所述基板被配置為多個基板；

所述電極單元包括內部電極和外部電極；

所述多個基板被設置為圍繞所述內部電極；以及

所述外部電極圍繞所述多個基板。

11.根據權利要求7所述的裝置，其中，所述基板在與所述電極單元的旋轉方向相反的方向上公轉。

12.根據權利要求7所述的裝置，還包括：第二旋轉單元，被配置為使所述第一旋轉單元環繞與所述第一旋轉單元的所述旋轉軸平行并且位于所述第一旋轉單元外部的軸公轉。

13.一種電鍍基板的方法，所述方法包括：

使電極單元相對于所述基板旋轉，所述電極單元面向所述基板；

使所述基板環繞與所述電極單元的旋轉軸平行并且位于所述電極單元的旋轉半徑外部的軸公轉；以及

向所述基板提供電鍍溶液。

14.根據權利要求13所述的方法，其中，所述電極單元相對于所述基板的旋轉包括使所述基板在與所述電極單元的旋轉方向相反的方向上公轉。

15.根據權利要求13所述的方法，其中，提供所述電鍍溶液包括使所述電鍍溶液在與所述電極單元的所述旋轉軸平行的方向上流動。

16.一種電鍍基板的方法，所述方法包括：

使電極單元相對于所述基板旋轉，所述電極單元面向所述基板；以及

向所述基板提供電鍍溶液，使所述電鍍溶液在與所述電極單元的旋轉軸平行的方向上流動。

17.根據權利要求16所述的方法，其中，所述電極單元相對于所述基板的旋轉包括使所述基板在與所述電極單元的旋轉方向相反的方向上公轉。

18.根據權利要求16所述的方法，還包括：使所述基板環繞與所述電極單元的所述旋轉軸平行并且位于所述電極單元的旋轉半徑外部的軸公轉。