[發明專利]曝光區域之間圖形偏移量的檢測方法及測試圖形

無效

• 申請號: 201010175934.0
• 申請日: 2010-05-14
• 公開（公告）號: CN102243443A
• 公開（公告）日: 2011-11-16
• 發明（設計）人: 郭建;周偉峰;明星
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及薄膜晶體管液晶顯示器制造領域，尤其涉及一種曝光區域之間圖形偏移量的檢測方法及測試圖形。

背景技術

TFT-LCD(Thin?Film?Transistor-Liquid?Crystal?Display，薄膜晶體管液晶顯示器)因其體積小，功耗低、無輻射等特點，在當前的平板顯示器市場占據了主導地位。

TFT-LCD器件是由陣列玻璃基板和彩膜玻璃基板對合而形成的。在陣列基板中相互交叉地配置定義像素區域的柵極線和信號線，在各像素區域中配置像素電極和薄膜晶體管。將驅動信號施加到柵極線上，圖像數據通過信號線施加到像素電極。在彩膜基板上配置黑底，使光不能透過除了像素電極以外的區域，在各像素區域配置濾色層，在此基礎上在配置公共電極。在陣列基板和彩膜基板中充入液晶，通過上述的加載驅動和信號的像素電極的電壓來控制液晶的偏轉來控制光線的強弱，配合彩膜基板的功能，在基板上顯示出所要表達的圖像。

目前的TFT-LCD生產流程中，在各個工程結束的時候，都需要對同一層的各個曝光區域之間圖形的偏移量進行檢測，以保證同一層各個曝光區域之間的圖形能夠實現均勻的排列。

其測試過程，如圖1所示，在對第一區域進行曝光的時候，除了形成TFT-LCD圖形區域1之外，在圖形區域1周邊同時形成了一系列測試光刻膠圖形2，其圖形可以是矩形，圓形等圖形(如圖1(a)所示)。然后對下一區域進行曝光的時候，除了形成圖形區域3之外，也會在上一次曝光形成的圖形區域1上再完成一次曝光，形成一個比圖形2略小的沒有光刻膠的區域4(如圖1(b)所示)。當前后兩次曝光之間的偏移量在規定標準之內時，圖形4會位于圖形2的區域之內，二者形成完整的環形結構。通過顯微鏡、照相機、圖像處理裝置等檢測該環形結構上下左右的偏移量，判斷出工程偏移量的大小。

但發明人發現，現有技術對各曝光區域之間圖形偏移量的檢測需要耗費較長時間，進而無法實現玻璃基板的全檢，很容易發生漏檢而使不良品流入后續工藝。

發明內容

本發明的實施例提供一種曝光區域之間圖形偏移量的檢測方法及測試圖形，能夠快速和實時地對曝光區域之間圖形偏移量進行檢測，提高不良檢出率與良率。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

一種曝光區域之間圖形偏移量的檢測方法，包括：

通過兩次曝光和其他構圖工藝得到至少一對具有特定位置關系的導電測試圖形；

對至少一對導電測試圖形進行電學特性檢測，若電學特性不符合所述特定位置關系，則確定兩次曝光區域之間的曝光圖形偏移量不合格；若電學特性符合所述特定位置關系，則確定兩次曝光區域之間的曝光圖形偏移量合格。

本發明提供的曝光區域之間圖形偏移量的檢測方法，通過兩次曝光和其他構圖工藝得到至少一對具有特定位置關系的導電測試圖形；對至少一對導電測試圖形進行電學特性檢測，若電學特性不符合特定位置關系，則確定兩次曝光區域之間的曝光圖形偏移量不合格；若電學特性符合特定位置關系，則確定兩次曝光區域之間的曝光圖形偏移量合格。利用電學特性檢測多次曝光的圖形的偏移量，能夠實現快速與實時，進而可以實現針對基板的全檢，從而提高不良檢出率與良率。

本發明還提供一種曝光區域之間圖形偏移量的檢測測試圖形，包括位于曝光區域周邊區域的成對設置的導電的第一測試圖形和第二測試圖形；所述第一測試圖形與所述第二測試圖形位于同一層，且所述第一測試圖形與所述第二測試圖形之間間隔規定距離相互絕緣。

本發明提供的曝光區域之間圖形偏移量的檢測測試圖形，包括位于曝光區域周邊區域的成對設置的導電的第一測試圖形和第二測試圖形；該第一測試圖形與第二測試圖形位于同一層，且第一測試圖形與第二測試圖形之間間隔規定距離相互絕緣。這樣，可以通過向第一測試圖形和第二測試圖形加載電流來檢測曝光區域之間圖形偏移量，如果原來絕緣的兩個測試圖形仍然絕緣，說明曝光區域之間圖形偏移量合格，如果兩個測試圖形導通，則說明曝光區域之間圖形偏移量不合格。這種利用電學特性檢測多次曝光的圖形的偏移量，能夠實現快速與實時，進而可以實現針對基板的全檢，從而提高不良檢出率與良率。

本發明還提供一種曝光區域之間圖形偏移量的檢測測試圖形，包括位于曝光區域周邊區域的成對設置的導電的第一測試圖形和第二測試圖形；所述第一測試圖形與所述第二測試圖形以規定的相對位置位于不同層，且所述第一測試圖形與所述第二測試圖形之間有絕緣層。