[發(fā)明專利]基板的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010174856.2
• 申請(qǐng)日: 2010-04-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101908491A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-12-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 片岡祐治
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社村田制作所
• 主分類號(hào): H01L21/48
• 分類號(hào): H01L21/48;H05K3/28
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 馮雅;胡燁

1.一種基板的制造方法，其特征在于，包括：

圍堰材料形成工序，在該圍堰材料形成工序中，沿基板層的主面的外周部配置圍堰材料；

樹(shù)脂層形成工序，在該樹(shù)脂層形成工序中，在所述基板層的主面的被所述圍堰材料包圍的內(nèi)側(cè)的區(qū)域內(nèi)以所述圍堰材料的高度以下的厚度填充樹(shù)脂，使其固化，從而形成樹(shù)脂層；

圍堰材料除去工序，在該圍堰材料除去工序中，在形成所述樹(shù)脂層后將所述圍堰材料除去；以及

切割工序，在該切割工序中，在除去所述圍堰材料后切割所述基板層和所述樹(shù)脂層；

所述圍堰材料由能從所述基板層和樹(shù)脂層除去的材料形成。

2.如權(quán)利要求1所述的基板的制造方法，其特征在于，

所述圍堰材料由乙烯類樹(shù)脂或丙烯酸類樹(shù)脂形成，通過(guò)所述圍堰材料除去工序?qū)⑺鰢卟牧蠌乃鰳?shù)脂層剝離除去。

3.如權(quán)利要求1或2所述的基板的制造方法，其特征在于，

所述基板層的主面的外周部具有標(biāo)記物，

在所述圍堰材料形成工序中，將所述圍堰材料形成于所述標(biāo)記物上。