[發(fā)明專利]電容MEMS麥克風振膜有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010167950.5 | 申請日： | 2010-05-04 |
| 公開（公告）號： | CN101883307A | 公開（公告）日： | 2010-11-10 |
| 發(fā)明（設計）人： | 楊斌 | 申請（專利權）人： | 瑞聲聲學科技(深圳)有限公司 |
| 主分類號： | H04R7/00 | 分類號： | H04R7/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518057 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容 mems 麥克風 | ||
1.一種電容MEMS麥克風振膜，包括與背板構成電容系統(tǒng)的振膜單元，所述振膜單元包括位于中央位置懸置的內膜和外圍膜片，其特征在于：所述的外圍膜片由內膜邊緣向外衍生延伸出至少四對均勻分布的環(huán)形折梁構成。
2.根據(jù)權利要求1所述的電容MEMS麥克風振膜，其特征在于：所述每對環(huán)形折梁包括相互分立的第一環(huán)行折梁和第二環(huán)行折梁，所述第一環(huán)形折梁和第二環(huán)形折梁的衍生延伸方向相對。
3.根據(jù)權利要求2所述的電容MEMS麥克風振膜，其特征在于：所述第一環(huán)形折梁與第二環(huán)形折梁沿振膜單元中心線相互對稱。
4.根據(jù)權利要求2或3所述的電容MEMS麥克風振膜，其特征在于：所述第一環(huán)形折梁和第二環(huán)形折梁分別包括從內膜衍生延伸的連接部、從連接部衍生延伸的呈字母“U”形的曲臂及與曲臂衍生的支撐部。
5.根據(jù)權利要求4所述的電容MEMS麥克風振膜，其特征在于：所述曲臂延伸方向與內膜同心。
6.根據(jù)權利要求1所述的電容MEMS麥克風振膜，其特征在于：所述每對環(huán)形折梁沿振膜單元的中心線相互對稱。
7.根據(jù)權利要求4所述的電容MEMS麥克風振膜，其特征在于：所述第一環(huán)形折梁和第二環(huán)形折梁與所述內膜之間設有第一間隙。
8.根據(jù)權利要求1所述的電容MEMS麥克風振膜，其特征在于：所述每對環(huán)形折梁相互之間設有第二間隙。
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